Lucht tank
Oct 12, 2023| Lucht tank
De kleine diffusiepomp-hoogvacuümpompgroep is meestal geconfigureerd met een gastank, die tussen de diffusiepomp en de voorpomp is aangebracht om het gas op te slaan dat door de diffusiepomp wordt afgevoerd. De redenen voor het instellen van de gastank zijn:
1) De noodzaak van schokbescherming van het systeem
Wanneer het vacuümsysteem werkt, vereisen sommige processen een strikte schokbestendigheid, dus de voormalige mechanische vacuümpomp moet een tijdje stoppen met werken wanneer de vacuümkamer in werkende staat is. Gedurende deze tijd wordt het door de diffusiepomp afgevoerde gas allemaal opgeslagen in de gastank en wordt de gastank gebruikt om de mechanische pomp te vervangen om de normale werking van de diffusiepomp te behouden.
2) Om de werkcyclus te verkorten
Sommige productieprocessen vereisen dat de vacuümkamer in de atmosfeer wordt gebracht in ruil voor componenten en opladen zonder de diffusiepompverwarming te sluiten. De voorpomp van de vacuümunit wordt gebruikt als voorpomppomp. Na het laden wordt de vacuümkamer voorgepompt met een mechanische pomp, en gedurende deze tijd wordt de gastank gebruikt om de diffusiepomp (als voorpomp) te onderhouden.
3) Om te voorkomen dat een grote hoeveelheid onmiddellijke gasontlading in de vacuümkamer de normale werking van de diffusiepomp beïnvloedt
Bij de productie onder vacuüm is het uitlaatgasvolume in een bepaalde tijd bijzonder groot, maar de tijd is kort. Als het op dit moment niet economisch is om de mechanische pomp te configureren op basis van het maximale uitlaatvolume, kan de voorfaseopslagtank op dit moment in het systeem worden geconfigureerd om een deel van het gas op te slaan met het maximale uitlaatvolume om te voorkomen dat de voortrapdruk van de diffusiepomp overschrijdt de maximale tegendruk.
4) Wordt gebruikt om de uitlaatdruk van de diffusiepomp te stabiliseren
Omdat de uitlaat van de mechanische vacuümpomp gepulseerd is, hoewel de frequentie niet hoog is (in het algemeen ongeveer 7 keer/s), zal dit ook schommelingen in de uitlaatdruk van de diffusiepomp veroorzaken, en de instelling van de gastank kan dergelijke schommelingen verminderen. schommelingen.
IKS PVD-bedrijf, decoratieve coatingmachine, gereedschapscoatingmachine, DLC-coatingmachine, optische coatingmachine, PVD-vacuümcoatinglijn, het turn-key project is beschikbaar. Neem nu contact met ons op, e-mail: iks.pvd@foxmail.com