Kenmerken van elektronenstraalverwerkingstechnologie
Dec 03, 2019| Kenmerken van elektronenstraalverwerkingstechnologie
De elektronenstraal kan zeer fijn worden gefocusseerd (tot l ~ 0,1 m), dus het kan micromachined worden.
Het bereik van verwerkte materialen is breed. Kan verschillende mechanische eigenschappen van materialen voor geleider, halfgeleider en niet-geleider verwerken.
Verwerkingsefficiëntie is zeer hoog.
Verwerking in vacuüm, minder vervuiling, verwerkingsoppervlak is niet eenvoudig te oxideren.
Elektronenstraalverwerking heeft een complete set speciale apparatuur en een vacuümsysteem nodig, de prijs is duurder, dus de productie is tot op zekere hoogte beperkt.
Verwerking van ionenstralen
Onder vacuümomstandigheden wordt de door de ionenbron gegenereerde ionenstraal versneld, gefocust en op het werkstukoppervlak geprojecteerd. Omdat ion een positieve lading heeft, is het massagetal duizenden of zelfs tienduizenden keren groter dan elektron, het heeft een grote impact kinetische energie bij het raken van het werkstuk, door de micro mechanische impact om de verwerking van het werkstuk te bereiken.
Het principe van de verwerking van ionenstralen en elektronenstralen is in principe hetzelfde. Het belangrijkste verschil is dat ionen een positieve lading hebben. Hun massa is duizenden of zelfs tienduizenden keren groter dan elektronen, dus ze versnellen langzamer in het elektrische veld.
Elektronenstraalverwerking wordt verwerkt door elektrische energie om te zetten in warmte-energie. Ionenbundelverwerking wordt verwerkt door elektrische energie om te zetten in kinetische energie.
IKS PVD Electron beam optische coating machine, IKS-OPT2700, Meer details, welkom contact iks.pvd@foxmail.com