Classificatie van Magnetron kathode sputterdoel
Jun 08, 2018| Magnetron sputterdoel is een vacuüm coating mechanische delen, en ook een macht elektronische componenten. Vanuit het oogpunt van het gebruik van de doelvoedingsbron maken we ons meer zorgen over de elektrische prestaties.
1. Volgens mechanische structuur
Volgens de mechanische structuur en de doelvorm worden magnetronsputterdoelgroepen hoofdzakelijk verdeeld in vlakke (rechthoekige of cirkelvormige) magnetrondoelen, coaxiale coërcitieve magnetrondoelen, ringvormig conisch magnetrondoel (S-pistool) en verscheidene andere.
2. Volgens planaire doelmaterialen
Het planaire doelwit is verdeeld in een vlak rechthoekig magnetrondoelwit, een vlak cirkelvormig magnetronobject en een boogdoelwit met een magnetron en een tweeledig doel met een composietstructuur.
3. Volgens het magnetisch veld
(1) Magnetrondoelen kunnen worden geclassificeerd in permanente magneten en elektromagneten afhankelijk van de formatiemodus van het magnetische veld.
(2) Afhankelijk van het verschil in de opstelling en distributiepositie van het magnetronobject in de vacuümkamer en het verschil in distributiestatus van magnetische polen en magnetische lijnen, kan het worden onderverdeeld in gebalanceerd magnetronsputteren en ongebalanceerd magnetronsputteren (ongebalanceerd magnetronsputteren kan plasma van het doeloppervlak wegtrekken om de kwaliteit van de oppervlaktelaagfilm en ionenneerslageffect op grote oppervlakken van het geprofileerde werkstuk te verbeteren.) Het uit meerdere doelen bestaande gesloten magnetisch veld ongebalanceerd magnetronsputtersysteem kan een hoge depositiesnelheid en een hogere kwaliteit dunne film verkrijgen .
(3) Het niet-gebalanceerde magnetische veld van het magnetronsputterdoel kan niet alleen worden verkregen door de grootte en sterkte van de binnenste en buitenste permanente magneten te veranderen, maar ook door twee sets elektromagnetische spoelen, of met behulp van een gemengde structuur van elektromagnetische spoelen en permanent magneten, en voeg ook extra solenoïden toe tussen de kathode en het substraat om het magnetisch veld tussen de kathode en het substraat te veranderen en de verhouding van positieve ionen en atomen in de depositie te regelen voor de beste resultaten.