Factoren van ongelijke dunne Film veroorzaakt door Magnetron sputteren vacuüm Coating Machine

De factoren van ongelijke film laag veroorzaken doormagnetron sputteren vacuüm coating machinedrie aspecten omvatten: vacuüm staat, magneetveld en argon gas.

Het werkingsprincipe van demagnetron sputteren vacuüm coating machineis dat onder de vacuüm statussen, het elektron van het orthogonale magnetisch veld te bombarderen de argon en vormen van het argon ion, vervolgens bombardement het doel-materiaal, zodat het doel-ion kan worden gestort op het oppervlak van het werkstuk naar formulier dunne film.

De vacuümtoestand moet het pompsysteem te controleren, en elke vent moet gelijktijdig bediende en consistent. Als de pompen niet uniform is, zullen de druk binnen de Vacuuemcel ongelijk zijn. De druk heeft een bepaalde invloed op de beweging van ionen. Daarnaast moet de tijd van de pompen worden gecontroleerd. Te kort zal leiden tot onvoldoende vacuüm, maar het is te lang en een verspilling van middelen.

Het magnetische veld orthogonaal werkt, maar het is onmogelijk om de intensiteit van het magnetisch veld 100% uniform. Indien de algemene magnetisch veld sterk is, de dikte van de film groot is, maar het is klein, integendeel, dus zal veroorzaken de inconsistentie van de dikte van de film. Echter in het productieproces is de oneffenheden van de film als gevolg van de niet-uniformiteit van het magnetisch veld niet gebruikelijk.

Argon gas uniformiteit zijn ook van invloed op uniformiteit van de film, en het principe is vergelijkbaar met vacuüm. Omdat argon de Vacuuemcel invoert, verandert de druk in de kamer. De uniforme druk kunt de uniformiteit van de laagdikte van de magnetron sputteren vacuüm coating machine.

Voor meer dan een decennium,IKSgespecialiseerd in alle soorten vacuüm coating toepassingsapparatuur productie, gewijd aan het onderzoek en de ontwikkeling en de productie van vacuüm coating machine, met de nieuwste technologie voortdurend producten voldoen aan de behoeften van de markt van vacuüm coating apparatuur , klanten te voorzien van aangepaste technologieoplossingen en apparatuur.