Vorming van dunne lagen

1. coagulation is het resultaat van de wederzijdse adsorptie van de moleculen van de matrix en de verdampende atomen

In vacuüm, wanneer bepaalde energie van verdampende atoom inbreuk op het oppervlak van het substraat maakt, energie-uitwisseling met het substraat-molecuul wordt verricht door het krachtveld van het oppervlak van het substraat en Fysische adsorptie- en chemisorptie tussen optreden de verdampende atoom en het substraat-molecuul. Fysische adsorptie is elke twee Vander Waals krachten dicht bij elkaar tussen moleculen, en chemische adsorptie is de chemische binding tussen atomen. Niet alle van de verdamping atomen kan adsorptie met substraat moleculen, sommige van de atomen houden de meeste van de energie van hun eigen, en de botsing gebeurde na reflectie, zelfs die verdampt atomen geadsorbeerde hij nog kunnen worden overgedragen op het oppervlak van het substraat of door desorptie en laat het oppervlak van het substraat. Daarnaast is er op het oppervlak van het substraat, een associatie tussen de verdampte atomen en dezelfde soort atomen geadsorbeerd aan het oppervlak van het substraat. Het proces van verdamping van atomen geadsorbeerde door het substraat heet agglomeratie.

De verhouding van de verkorte atoom het incident atoom heet de coëfficiënt van de coacervation van het Atoom van verdamping. Vanwege de verschillende aantrekkingskracht tussen atomen is de coëfficiënt van de agglomeratie van hetzelfde type van verdamping atomen voor verschillende substraten anders.

Elk verdampte atoom heeft verschillende kritische temperatuur van de vorming van de film voor verschillende ondergronden en de temperatuur van het substraat is lager dan de kritische temperatuur van de film, het kan worden verkort. Dit fenomeen kan worden geïnterpreteerd als: wanneer de temperatuur van het substraat te hoog is, de verdampende atomen inbreuk op het oppervlak van het substraat worden doorgevoerd of gedesorbeerde. In de film vormen van proces (bestaande film forming basis), hoewel de temperatuur van het substraat groter is dan de kritische temperatuur, de film kan blijven groeien en haar kristallisatie staat zal worden gewijzigd. In de vroege fase van de vorming van films, de film is in de amorfe toestand of glasvocht lichaam, met de stijging van de temperatuur, de film geleidelijk aan de metastabiele overgang, als deze trend doorzet, het zal worden getransformeerd om stabiele, eindelijk in kristallijne films.

2. vorming proces van dunne film

Aan het begin van de depositie, het substraat oppervlak gelijkmatig wordt geabsorbeerd sommige verdamping van atomen, de interactie tussen de atomen van de verdamping verzamelen in enkele kernen die groeien, migratie, de fusie, de vorming van een aantal kleine eilanden (groot kristal kernen verzameld), de basale oppervlak van de verdere groei van deze eilanden die soortgelijk aan elkaar bent verbonden, vormen een groot eiland. De hoogten van deze eilanden en eilandjes stijgen met de afzetting, en tot slot een netwerkstructuur met sloten wordt gevormd op de hele ondergrond. Het resultaat van voortdurende verdamping, de verdamping atomen ook voortdurend zijn nucleated en eiland in de loopgraven, en uiteindelijk de volledige sloten zijn geleidelijk gevuld. Wanneer de sloten en gaten in het oppervlak van de base zijn gevuld, blijven de verdampte atomen opbouwen van allerlei soorten films op deze structuren.

Onder de elektronenmicroscoop blijkt dat de conventionele thermische verdamping films alle cilindrische structuren zijn. De richting van de cilinder is hetzelfde als die van de groei van de film, maar loodrecht op de interface van de film, en er zijn veel pauzes tussen deze cilinders. Het meten van de totale kloof in de film door het invullen van de dichtheid:

Vullen van de dichtheid (P) = het volume van het effen gedeelte van de film (cilinder) / het volume van de film (cilinder + porie)

De dichtheid van de vulling is een functie van de temperatuur van het substraat en in de meeste gevallen, de dichtheid van de vuller stijgt met de toename van de temperatuur van het substraat. In het algemeen, verhoging van de verdampingssnelheid kan het verhogen van de dichtheid van de vulling en het effect van de verdampingssnelheid is van bijzonder belang wanneer de film lager is. De dichtheid van de verpakking ook toeneemt met de verhoging van de laagdikte. Dit is waarschijnlijk te wijten aan de verandering van de staat van de structuur van de film tijdens het filmvormende. Het kan ook zijn als gevolg van de blokkering van een deel van de film poriën in het proces van de vorming van film.