Hoe PECVD werkt
Apr 17, 2024| Hoe PECVD werkt
De PECVD-methode wordt gebruikt om dunne films van siliciumnitride te laten groeien met behulp van de kenmerken van niet-evenwichtsplasma, dat wil zeggen dat plasmamoleculen, atomen, ionen of actieve groepen hetzelfde zijn als de omringende omgeving, en niet-evenwichtselektronen vanwege hun kleine massa. hun gemiddelde temperatuur kan twee ordes van grootte groter zijn dan die van andere deeltjes, dus onder normale omstandigheden zijn hoge temperaturen (300 graden C -450 graden C) nodig om veel reacties te bewerkstelligen. Tijdens het afzettingsproces ondergaan de speciale gasmoleculen NH3 en SiH4 een intense thermische beweging onder invloed van hoge frequentie en botsen ze met elkaar om hun moleculen te ioniseren en vervolgens SiNx te genereren.
IKS PVD-bedrijf, decoratieve coatingmachine, gereedschapscoatingmachine, DLC-coatingmachine, optische coatingmachine, PVD-vacuümcoatinglijn, het turn-key project is beschikbaar. Neem nu contact met ons op, e-mail: iks.pvd@foxmail.com