Introductie van massaflowregelaar

Mass flow controller (MFC) wordt gebruikt voor nauwkeurige meting en regeling van massastroomsnelheid van gas. Het is meestal samengesteld uit stromingssensor, stroomregelklep, versterkend regelcircuit en shuntbesturingskanaal. Zijn werkvoedingsbron en stroomdisplay en instellingsbewerkingen door zijn ondersteunende stroomdisplayvoeding.

Gebruik en functies

MFC speelt een belangrijke rol in wetenschappelijk onderzoek en productie op vele gebieden, zoals halfgeleider micro-elektronica-industrie, speciale materiaalontwikkeling, chemische industrie, aardolie-industrie, medicijnen, milieubescherming en vacuüm.

De typische toepassingen omvatten: Elektronische procesapparatuur zoals diffusie, oxidatie, epitaxie, CVD, plasma-etsen, sputteren, ionenimplantatie; en vacuümbekledingsapparatuur, gaschromatografen en andere analytische instrumenten.

Massastroomregelaar en massaflowmeter met hoge nauwkeurigheid, goede herhaalbaarheid, hoge reactiesnelheid, zachte start, stabiel en betrouwbaar werkdrukbereik (dat kan werken onder hoge druk of vacuümomstandigheden), de bediening is eenvoudig in gebruik. MFC kan in elke positie worden geïnstalleerd en is verbonden met de computer om automatische besturing te realiseren.

De flowmeter is over het algemeen verdeeld in de volgende types:

1. Volumetrische flowmeter

Het maakt gebruik van het mechanische meetelement om de vloeistof continu in een bekend volumegedeelte te verdelen. De volumestroom van het fluïdum wordt gemeten volgens het aantal keren dat het volume gevuld en afgegeven fluïdum één voor één achtereenvolgens uit de meetkamer komt.

2. Vlotterdebietmeter (rotormeter)

De vlotterdebietmeter is een soort debietmeter met variabel oppervlak, in een verticale kegel van boven naar beneden, de cirkelvormige dwarsdoorsnede van de zwaartekracht van de vlotter wordt ondersteund door het vloeistofvermogen, zodat de vlotter vrij kan zijn in de kegel. Rijzen en vallen.

3. Drukverschildebietmeter

Het is gebaseerd op het drukverschil geproduceerd door de in de buis geïnstalleerde stromingsdetector, de toestand van de bekende vloeistof en de meter om de stroming tussen de buis en de buis te berekenen.

4. Vortex straatflowmeter (VSF)

De niet-stroomlijnige vortexgenerator wordt in het fluïdum geplaatst en het fluïdum wordt afwisselend gescheiden aan beide zijden van het genererende lichaam om twee reeksen regelmatig geïnterlinieerde vortexinstrumenten vrij te geven.

5. Turbinestromingsmeter

Het is het hoofdtype van snelheidsstroommeter. Het gebruikt de meerbladige rotor (turbine) om de gemiddelde vloeistofsnelheid te meten en leidt het instrument af van het stroomvolume of de totale hoeveelheid.

6. Ultrasone flowmeter

Het is de meting van de stroming door het meten van het effect van de vloeistofstroom op de ultrasone straal (of ultrasone puls).

7. Elektromagnetische debietmeter

De elektromagnetische flowmeter is een soort instrument voor het meten van de geleidbaarheid van de vloeistof volgens de wet van de elektromagnetische inductie van Faraday.

8. Thermische massaflowmeter

De thermische flowmetersensor bevat twee sensorelementen, een snelheidssensor en een temperatuursensor. Ze kunnen de temperatuurverandering van het gas automatisch compenseren en kalibreren. Het elektrische verwarmingsgedeelte van het instrument verwarmde de snelheidssensor tot een bepaalde waarde die hoger was dan de temperatuur van de werkconditie, zodat een constant temperatuurverschil tussen de snelheidssensor en de sensor bij de bedrijfstemperatuurconditie werd gevormd. Wanneer het temperatuurverschil constant wordt gehouden, is de energie die wordt verbruikt door elektrische verwarming evenredig met de massastroom van de gasstroom en is deze geschikt voor het meten van een enkel gas en een vast deel van meercomponentgas.