Introductie van Bias

De voorspanning verwijst naar de negatieve spanning die op het substraat is aangebracht tijdens het coatingproces. De positieve aansluiting van de biasvoeding is verbonden met de vacuümkamer, terwijl de vacuümkamer is geaard. De negatieve pool van de voorspanning is verbonden met het werkstuk. Omdat de spanning van de aarde in het algemeen wordt beschouwd als nulpotentiaal, is de spanning op het werkstuk die negatieve voorspanning, die bias wordt genoemd.

1. Functie van de negatieve bias

◆ Geef deeltjesergie;

◆ Verwarmend effect op het substraat;

◆ Het verwijderen van het gassen en vette vuil geadsorbeerd op het substraat is gunstig voor het verbeteren van de hechtsterkte van de film;

◆ Activeer het substraatoppervlak;

◆ Voor de grote deeltjes in boog heeft ionenplating zuiveringseffect.

2. Classificatie van bias spanning

(1) Volgens de golfvorm kan worden onderverdeeld in:

DC bias   DC gepulseerde bias

DC-gesuperponeerde pulsbias Bipolaire pulsvoorspelling

(2) Volgens de noodzaak om de hoogspanning en de lage spanning te schakelen wanneer de stroom wordt gebruikt, kan deze worden onderverdeeld in:

Vermogensoutputdiagram van schakelen tussen hoogspanning en laagspanning

Het is niet nodig om stapsgewijze continue regeluitgang met hoge en lage spanning om te schakelen

Instelbare parameters van bias-voeding: bias amplitude, duty-ratio, frequentie en golfvorm.

3. Kenmerk van bias voeding

◆ Het aantal boogdovingen per minuut.

◆ Detectie van de gevoeligheid van grote bogen (mJ / kW detecteerbare boogenergie).

4. Laadkarakteristiek van bias

De werkbelasting van de bias is plasma en het plasma vertoont resistief wanneer de DC-bias wordt gebruikt. Voor een ander, wanneer gepulseerde voorspanning wordt toegepast, vertoont het plasma resistief + capacitief, hetgeen kan worden beschouwd als een serieschakeling van weerstanden en condensatoren. De essentie van de capaciteit wordt veroorzaakt door plasmamantel op het substraat.