Invoering van de methode van de werking van vacuüm Coating Machine

De vacuüm coating machine is een instrument van de coating die moeten werken op een hoger vacuüm. Het is verdeeld in twee soorten verdamping en sputteren.

Verdamping coatingproces is over het algemeen de verwarming target materiaal, waardoor de oppervlakte onderdelen van het materiaal dat doel moet worden verdampt door atoom of ion vorm, en afgezet op het substraat oppervlak, vormen de dunne film door het proces van film vorming.

Sputteren coating gewoon kan worden opgevat als het gebruik van elektronen of high-energy laser bombardement het doel en de oppervlakte componenten van het doel worden sputteren in de vorm van atomen of ionen, en uiteindelijk gestort op het oppervlak van het substraat, de vorming van de dunne film door het proces van de vorming van de film.

Gebruik de stappen:

1. operatie methode van elektromechanische schakelkast voor vacuüm coating

(1) open de pomp en door de lucht waterbron.

(2) zet de belangrijkste macht.

(3) het openen van de voeding van het bedrijf pomp en vacuüm meter, de vacuüm gauge standpunt V1, wacht de waarde minder dan 10, en voert u de volgende bewerking. Waarschijnlijk moet vijf minuten.

(4) zet de mechanische pomp, voeren het vooraf pompen, open de turbo moleculaire pomp voeding en start de moleculaire pomp. De vacuüm gauge-switch wordt gewijzigd in de positie van V2. Nadat de mate van vacuüm wordt gepompt naar minder dan 2, stoppen met pompen en duurt 20 minuten.

(5) wanneer de lezingen van de turbine moleculaire pomp worden waargenomen tot 250, de pre-pompen is gesloten, open vervolgens de steun pomp en hoog vacuüm kleppen blijven om te evacueren. Pas na het vacuüm 2 × 10-3 bereikt, dient de voeding van het elektronische pistool kan worden ingeschakeld.

2. werking van vacuüm coating machine

(1) zet de belangrijkste macht.

(2) op hetzelfde moment open de elektronische controle van het kanon I en II voeding: volgens de elektronische controle van het kanon ik macht, vertraging schakelaar, waarna het licht van de vertraging, de nodige energie lamp en bescherming licht, licht. Na drie minuten durende de vertraging licht en bescherming-lamp uit te schakelen. Als de achterdeur niet gesloten is of het flow-Relais defect is, zal het licht van de bescherming altijd op.

(3) open de hoge druk, hoge druk zult bereiken meer dan 10KV, aanpassen van de lichtbundel te over 200mA, het schild raster is 20V / 100mA, filament huidige 1.2a, de huidige uitwijking swing 1 ~ 1.7.

3. Afsluitvolgorde van vacuüm coating machine

(1) Schakel de gauge outfit en moleculaire pomp.

(2) als de moleculaire pomp toont tot 50, het hoog vacuüm ventiel, back-ups pomp en mechanische pomp zijn gesloten in de juiste volgorde. Waarschijnlijk moet 40 minuten.

(3) als de moleculaire pomp minder dan 50 toont, sluit de pomp van het bedrijf.