PVD-laagdikte en inspectie
Dec 15, 2018| PVD-laagdikte en inspectie
IKS PVD, PVD-machine voor vacuümcoating uit china, neem nu contact met ons op, iks.pvd@foxmail.com
Coatingdikte verwijst naar het buitenoppervlak van de coating en de afstand tot het substraatoppervlak onder de coating, over het algemeen in 0 ~ 15um, er zijn veel detectiemethoden, het volgende introduceert de huidige toepassing van de meer gebruikelijke methoden: methode van de dwarsdoorsnede, bolvormig markeer methode en niet-destructieve detectiemethode.
1. methode van sectie
Sectiemethode is een destructieve detectiemethode, het werkstuk mag niet opnieuw worden gebruikt. Het test het werkstuk of monster langs de coatingsectie, onder de microscoop 1000 - 10000 keer groter voor meting, hoe groter de vergrotingsfactor, hoe kleiner de impact van menselijke factoren, hoe hoger de precisie. De grens tussen de coating en het substraat is zeer duidelijk en het is handig om te meten met de schaal in sem. De afstand tussen de start- en eindpunten van de liniaal is de dikte van de coating. Of de de meting nauwkeurig is of niet, is om de grens tussen de coating en het substraat correct te beoordelen, anders zal het fouten veroorzaken. Als de interface tussen de coating en het substraat wazig is, is het het beste om deze meetmethode niet te gebruiken. Over het algemeen is dit meetmethode is intuïtief en nauwkeurig. Bovendien, wanneer deze methode wordt gebruikt voor de meting, is het beter om de sectie te observeren, die relatief vlak zou moeten zijn. Anders moet handmatige verwerking worden uitgevoerd om de sectie zelfs voor observatie en meting te maken.
Oliespiegel kan ook worden gebruikt om de coatingsectie te observeren voor metingen. Het gesneden monster wordt in kunststofpoeder geplaatst voor persen, branden en vormen tot een blokmonster, waarna het geteste oppervlak wordt gemalen en het geteste oppervlak wordt gemalen en geëgaliseerd. Tijdens de meting wordt de lucht die uit de olie wordt gepompt, gemeten tussen de objectieflens en het gemeten oppervlak om interferentie te verminderen.
2. Ball-krater
Kogelmarkeringsmethode is het gebruik van een bepaalde diameter van stalen kogel op het oppervlak van het slijpen van de coating, het coaten en matrixslijpen van een put, bal slijpinstrument sectie voor een boog. De vereisten voor het slijpen zijn dezelfde als die van de baltest, die de hechting van de coating meet. Na het malen van de bal wordt het beeld onder de microscoop waargenomen door het afbeeldingssysteem en onder de monitor.
Het uiterlijk van het werkstuk zal worden beschadigd door de balmarkeringsmethode. Als het detectiepunt zich niet in het functionele gebied bevindt, heeft dit meestal geen invloed op het hergebruik ervan. Om fouten te voorkomen, is het echter noodzakelijk om met de eigenaar van het artefact te overleggen en toestemming te verkrijgen voordat met deze methode wordt getest.
3. niet-destructief testen (NDT)
Niet-destructieve testmethode is het detecteren van de laagdikte op het werkstuk zonder het werkstuk te beschadigen. Er zijn veel soorten NDT-methoden, in het algemeen moeten niet-destructieve tests om het substraat en de coatingsamenstelling te verschaffen, of om een coatingmonsterstuk te verschaffen om benchmarkgegevens te analyseren, in de test worden gemeten en de samenstelling van de coatingsamenstelling worden vergeleken met hoofdmonsterblokken met de theorie van de laagdikte afleiden, dus voor verschillende substraat- en coatingsamenstellingsanalyses, meetprogramma maken en vervolgens naar de werkelijke meting. Natuurlijk kunnen sommige instrumenten direct worden gemeten zonder voorbeeldblokken te maken, maar de fout is groot. Deze sectie introduceert voornamelijk X-stralen fluorescentie (XRF).
XRF-instrument bestaat hoofdzakelijk uit röntgenopwekkingsbron en detectiesysteem. X-ray buis produceert op röntgen gebaseerde stralen) (te meten stralings- of trefferwerkstuk, elk element van het te meten werkstuk is gemotiveerd, secundaire X-stralen geëmitteerd en secundaire stralen uitgezonden door de verschillende elementen met specifieke energiekarakteristieken (dat wil zeggen, afhankelijk van de energiefunctie van secundaire stralen en de inhoud van elementen kunnen leren). Het detectiesysteem meet de energie en hoeveelheid van deze opgewonden secundaire stralen. converteert de gedetecteerde energie en hoeveelheidinformatie naar overeenkomstige elementen en inhoud, zodat het type en de inhoud van de elementen in het te testen werkstuk kunnen worden gedetecteerd. Met behulp van het X-stralenfluorescentieprincipe kan elk element in het periodiek systeem theoretisch worden gemeten.Echter in praktische toepassing is het effectieve elementaire meetbereik van element 11, natrium (Na), tot element 92, uranium (U).
Volgens de bovenstaande principes analyseert XRF bij het meten van de laagdikte van het monster de elementsamenstelling van respectievelijk de matrix en de coating. Over het algemeen is de elementsamenstelling van de coating erg verschillend van die van de matrix. Daarom kan de berekeningssoftware de dikte van de coating berekenen. Als de elementsamenstelling van verschillende substraten en coatings van tevoren afzonderlijk wordt gedetecteerd en standaard in de computerdatabase wordt opgeslagen, wordt de gedetecteerde elementsamenstelling bij XRF-detectie vergeleken met de standaard om de bijbehorende matrix en coatingtype te vinden en de interface te beoordelen tussen de coating en het substraat, om de dikte van de coating nauwkeuriger te meten.