Specifieke maatregelen om terugstroming van oliedamp in het oliediffusiepompsysteem te voorkomen
May 18, 2022| Specifieke maatregelen om terugstroming van oliedamp in het oliediffusiepompsysteem te voorkomen:
(1) Verhoog het startvermogen van de diffusiepomp om de drukovergangszone te verkorten wanneer de mechanische pomp schakelt met de diffusiepomp.
(2) Vermijd de gevarenzone van terugstroming (overgangszone) door het systeembedieningsproces te wijzigen en kleppen te gebruiken. Een hoogvacuümklep kan bijvoorbeeld met een vooraf bepaalde snelheid worden geopend en deze kan geleidelijk worden geopend om ervoor te zorgen dat de gasstroom in de diffusiepomp lager is dan de maximale verplaatsing, en de pompsnelheid van de mechanische pomp om de druk van de frontstage van de diffusiepomp zodat de diffusiepomp aan het werk kan. Zodat we de overgangszone kunnen vermijden.
(3) Verbeter het werkingsproces en pas de genezende kracht van de diffusiepomp aan op het beste vermogen om het fenomeen van pompolie-explosie koken te voorkomen; Over het algemeen zal de terugstroming van de diffusiepomp pieken tijdens het verwarmen en sluiten, dus de hoogvacuümklep bij de pompmond kan worden gebruikt om terugstroming te regelen en te voorkomen.
(4) Voeg vloeibare waterstof koude val of adsorptieval toe aan de ingang van de diffusiepomp om de terugstroomoliedamp op te vangen.
(5) Selecteer een hoogwaardige diffusiepomp-werkvloeistof
IKS PVD-bedrijf, decoratieve coatingmachine, gereedschapscoatingmachine, DLC-coatingmachine, optische coatingmachine, PVD vacuümcoatinglijn, het kant-en-klare project is beschikbaar. Neem nu contact met ons op, e-mail:iks.pvd@foxmail.com