Sputterende ionenpomp - Titanium sublimatiepompset
Aug 31, 2021| Sputterende ionenpomp - Titanium sublimatiepompset
1. Vacuümkamer 2. Ultrahoogvacuüm schuifafsluiter 3. Sputterende ionenpomp - Titanium sublimatie pompset 4. Ultrahoogvacuüm schuifafsluiter 5. Koudeval 6. Diffusiepomp 7. Ontlastklep 10. Mechanische vacuümpomp
Afb. 2 Gecombineerd ultrahoog vacuümsysteem
Figuur 2 toont een ander type gecombineerd ultrahoog vacuümsysteem. Het systeem isgeschiktvoor vacuümafdichtingsovens, tantaalchipovens en andere apparatuur. De hoofdpomp van het systeem is de sputterende ionenpomp en de titanium sublimatiepompset. Het grensvacuüm van de vacuümkamer kan 5×10-7Pa bereiken. Het systeem is uitgerust met een unit bestaande uit een oliediffusiepomp en een mechanische pomp, die wordt gebruikt voor het pompen van ruwe olie en de voorpomp als hoofdpomp en die tegelijkertijd een grote hoeveelheid gas kan wegpompen die tijdens het proces vrijkomt.
IKS PVD-bedrijf, decoratieve coatingmachine, gereedschapscoatingmachine, optische coatingmachine, PVD vacuümcoatinglijn, het turn-key project is beschikbaar.Neem nu contact met ons op, e-mail:iks.pvd@foxmail.com