Ultrahoogvacuümpompset

Ultrahoogvacuümpompset
De ultrahoogvacuümeenheid werkt in het ultrahoge vacuümdrukbereik van 10-6 ~ 10-10Pa, naast de vereiste dat het materiaal van de vacuümkamer een zeer lage gasuitvoersnelheid heeft, een zeer kleine gaslekkage en bestand tegen bakken op hoge temperatuur van 200 ~ 450 graden. De vereisten voor de unit omvatten ook:
(1) de ultieme vacuümgraad van de hoofdpomp moet hoog zijn, minimaal 10-7 ~ 10-8Pa hierboven;
(2) De hoofdpomp heeft een bepaalde pompsnelheid binnen het werkdrukbereik van het ultrahoge vacuüm;
(3) De hoofdpomp van de unit of het onderdeel boven de luchtinlaat van de hoofdpomp is bestand tegen bakken op hoge temperatuur van 200 ~ 450 graden;
(4) De partiële druk van het terugstroomgas (inclusief de werkvloeistofdamp en het opgeloste gas) naar de autonome pomp moet laag genoeg zijn;
(5) De hoofdpomp met een sterke selectiviteit van verpompt gas moet zijn uitgerust met een voldoende grote hulppomp;
(6) Leidingen, kleppen en andere componenten boven de inlaatpoort van de hoofdpomp van de unit, de selectie en afdichting van materialen moeten bijzonder voorzichtig zijn. Over het algemeen worden roestvrij staal met een lage gasopbrengst en een metalen afdichtingsstructuur en afdichtingsmaterialen gebruikt.

IKS PVD-bedrijf, decoratieve coatingmachine, gereedschapscoatingmachine, DLC-coatingmachine, optische coatingmachine, PVD-vacuümcoatinglijn, het turn-key project is beschikbaar. Neem nu contact met ons op, e-mail: iks.pvd@foxmail.com