Wat is het effect van korrelgrootte op doelsputteren
Jan 14, 2022| Wat is het effect van korrelgrootte op doelsputteren
Meestal is het doelmateriaal polykristallijn met een korrelgrootte variërend van micron tot millimeter. Hoe kleiner de korrelgrootte, hoe groter het korrelgrensgebied is en hoe groter de invloed op de prestaties is. Voor hetzelfde doelwit is de sputtersnelheid van het doelwit met de fijne korrel sneller dan die van het doelwit met grove korrel. De dunne films afgezet door doelsputteren met kleinere korrelgrootteverschillen (uniforme verdeling) hebben een meer uniforme dikteverdeling. Volgens de studie, als de korrelgrootte van het titaniumdoel onder 100um wordt gecontroleerd en de verandering van korrelgrootte binnen 20% wordt gehouden, kan de kwaliteit van de film verkregen door sputteren aanzienlijk worden verbeterd.
IKS PVD bedrijf, decoratieve coating machine, gereedschappen coating machine, DLC coating machine, optische coating machine, PVD vacuüm coating lijn, de turn-key project is beschikbaar. Neem nu contact met ons op, E-mail:iks.pvd@foxmail.com