Werkingsprincipe en schematisch diagram van cryogene pomp
Jun 12, 2019| Werkingsprincipe en schematisch diagram van cryogene pomp
Het werkingsprincipe van de cryogene pomp is om gas af te voeren door fysische adsorptie op het oppervlak met ultra-lage temperatuur.
De cryogene pomp kan een extreem hoog vacuüm (10 - 11 Pa) bereiken en heeft de voordelen van een hoge afvoersnelheid, geen olie en onbeperkte installatierichting. De structuur is weergegeven in figuur 1 .
Fig. 1 schematisch diagram van cryogene pompstructuur
1 - afkoeltafel eerste trap; 2 - secundaire koeltafel; 3 - cryogene dekking; 4 - afscherming; 5 - baffle
De koude tafel van de eerste fase van de cryogene pomp is uitgerust met een beschermkap en een keerschot en de temperatuur wordt op 80K gehouden. De secundaire koeltafel wordt op 15K gehouden, waarop een omhulsel bij lage temperatuur en een actief kool adsorbens worden geplaatst.
Waterdamp stolt op het 80K-schild en het 80K-keerschot. Stikstof, zuurstof en argon worden gestold op een 15K cryogeen masker. Waterstof, helium en neon worden geadsorbeerd op het adsorbens aan de binnenkant van de 15K lage temperatuur behuizing. De cryogene pomp kan alle gassen uitputten, maar als te veel gas wordt geabsorbeerd, neemt de snelheid van de uitlaat af. Op dit punt moet de cryogene pomp worden verwarmd om het geadsorbeerde gas vrij te maken en opnieuw te gebruiken.
