Boogstroom, temperatuur, voorspanning en bindingskracht
Aug 19, 2019| Een rc-stroom, temperatuur, voorspanning en bindingskracht
1. De boogstroom
Wanneer de boogstroom laag is, is het aantal ionen klein, is de hoeveelheid energie laag, is de nucleatiesnelheid laag en is de structuur niet dicht. Om de hele matrix te bedekken, moeten de atomen van de filmlaag over een groot bereik worden verspreid.
Met de toename van boogstroom neemt het aantal ionen in de membraanlaag toe, neemt de energie toe en neemt de weefseldichtheid toe. De filmatomen hebben geen langeafstandsdiffusie nodig om de hele matrix te bedekken, en de filmkorrels zijn klein en de bindingssterkte met de atomen op het oppervlak van de matrix is hoog
Boogstroom blijft toenemen, filmoppervlak lijkt te veel vloeistofdruppeltjes, filmsterkte, hardheid neemt af, filmhechting neemt af .
Opmerking: de zogenaamde boogstroomgrootte moet hier worden gebaseerd op de boogstroom die overeenkomt met de apparatuur als de referentie, het magnetische veld, de koeling, het doelsysteem, enz., De bijbehorende passende stroom is niet hetzelfde. Er is geen overeenkomstige gedetailleerde informatie en de gegeven waarden zijn alleen ter referentie.
2. De temperatuur
Wanneer de depositietemperatuur laag is, is de atomaire activiteit van de filmlaag laag, is de nucleatiesnelheid laag, is de compactheid slecht, is de krimpholte groter, is de inwendige spanning slecht, is de hechting slecht.
Met de toename van de temperatuur wordt de atoomactiviteit van de filmlaag verbeterd, het diffusievermogen is sterk, de nucleatiesnelheid wordt verhoogd, de dichtheid is hoog, de krimpholte is klein, de interne spanning is laag, de bindingskracht is hoog.
De temperatuur blijft stijgen en overschrijdt de tempertemperatuur van de matrix. Naarmate de hardheid van de matrix afneemt, kan deze geen sterke ondersteunende rol op de film spelen, wat leidt tot een vermindering van de adhesiekracht van de film.
Vraag: als de matrijstemperatuur voldoende hoog is, of de bindingskracht zal blijven toenemen?
3. Het vooroordeel
Met de toename van de voorspanning hebben de afgezette ionen een sterk bombardementseffect op de atomen op het oppervlak van het substraat, waardoor een pseudo-diffusielaag wordt gevormd en de hechting van de film wordt verbeterd. In het filmvormingsproces maakt het continue bombardement van de film door hoogenergetische deeltjes de korrelgrootte van de film kleiner en neemt de kiemdichtheid toe, waardoor de film onder relatief dunne omstandigheden een film blijft vormen, waardoor de bindingskracht wordt verbeterd .
Overmatige voorspanning zal leiden tot oververhitting van het substraat, overmatige spanning in het raakvlak met het substraat wanneer ionen met hoge energie worden afgezet, en anti-sputterwerking zal de bindingskracht van de film verminderen.
IKS PVD, gespecialiseerd in PVD-vacuümcoatingtechnologie gedurende 13 jaar, elke vraag, welkom contact: iks.pvd@foxmail.com
