Effect van PVD-coating Productieproces op coatingdikte
Mar 26, 2018| Het belangrijkste in het PVD-coatingproces is de klemmethode, die de dikte en uniformiteit van de coating zal bepalen. En het lijdt geen twijfel dat de dikte van de coating zijn levensduur beïnvloedt. Het is echter niet hoe dikker de coating, hoe beter de levensverwachting. Op hetzelfde werkstuk vereist een andere toepassing een andere dikte. En een ander werkstuk heeft ook een andere dikte nodig. Dus de controle van de dikte van de coating is belangrijk.
De dikte van de coating wordt hoofdzakelijk bepaald door de coatingprocedure. Bepaalde procedures hebben een bepaald bereik van de laagdikte en de dikte van de coating varieert aanzienlijk binnen dit bereik. De klemmethode van het werkstuk heeft echter ook grote invloed op de dikte van de coating. Bij onjuist klemmen zal de dikte van de coating het door het programma ingestelde bereik overschrijden.
De rotatiedimensie van het werkstuk beïnvloedt de dikte van de coating. De werkstukken moeten tijdens het coaten in de kamer worden geroteerd. Er zijn drie manieren om het werkstuk te roteren: rotatie met één dimensie, tweedimensionale rotatie en driedimensionale rotatie. Voor dezelfde coatingprocedure, hoe meer rotatiedimensies, hoe dunner de coating. De dikte van de tweedimensionale spincoating is ongeveer 5 keer de dikte van de driedimensionale spincoating en de dikte van de eendimensionale spincoating is ongeveer 1,5 keer de dikte van de tweedimensionale spincoating. Aangenomen dat een coatingdikte van een driedimensionale rotatie 2um is, en dan is de coatingdikte van tweedimensionaal roterend werkstuk ongeveer 3um, terwijl de coatingdikte van eendimensionale draaiende spin 4,5um of meer kan bereiken.
Bij het vastklemmen van het werkstuk heeft ook de dichtheid van het werkstuk invloed op de dikte van de coating. De laagdikte van het werkstuk waar intensief wordt ingeklemd, is klein en de laagdikte van het werkstuk is dun ingeklemd.
De bovenstaande afbeelding toont de dikteverdeling van de coating op een enkele tand van een kookplaat. De onderstaande afbeelding toont de dikteverdeling van de coating op verschillende posities van een boor.
Zo kan worden gezien dat de dikte van de verschillende delen van het gereedschap sterk wordt beïnvloed door de klemming, dus we moeten de klemmethode bepalen op basis van ervaring.