Electron Beam verdampingssystemen

Elektronenbundel en thermische verdampingssystemen. Planetaire of eenvoudige rotatiestappen kunnen verwarming tot temperaturen van meer dan 950 ° C omvatten, afhankelijk van de substraatafmeting en het materiaal. Ionenbronnen voor IBAD en substraatvoorreiniging kunnen ook in systemen worden geïntegreerd. Verdampingssystemen worden geleverd met complete pompstations, handmatige of elektropneumatische kleppen, alle vacuümmeters, een stroomverdeelkast, elektronische rekken, water- en luchtverdeelstukken en veiligheidsvergrendelingen. Systemen kunnen handmatig of via computerbesturing worden gebruikt. Substraatverwarmers en manipulators kunnen worden ontworpen voor niet-standaard substraatvormen en -afmetingen. Toepassingen zijn onder meer onderzoek naar basismaterialen, SAW-apparaten, silicium- en GaAs-wafermetallisatie, MEMS- of weergavetechnologie.

Er zijn veel systeemopties beschikbaar, waaronder een breed scala aan elektronenbundels en thermische bronnen, voedingen, integratie van ionenbundel- of magnetronsputterbronnen, RGA's, UHV-mogelijkheden, laadsluizen met meerdere wafels en in-situ monitoren.