Magnetronsputterafzettingsproces van (Cr, Ti, Al) N-gradiëntcoating

Magnetronsputterproces van (Cr, Ti, Al) N-gradiëntcoating

Momenteel kan een typisch magnetronsputterproces voor de (Cr,Ti,Al)N-gradiëntcoating worden onderverdeeld in de volgende stappen:

Ionensputterreiniging: Arionenbombardement kan onzuiverheden zoals oxiden op het substraatoppervlak verwijderen en ook het werkstukoppervlak activeren.

Afzetting van Cr-metaallaag: Start Cr-doelwit en deponeer zuivere metalen Cr-onderlaag. Er is een goede hechtkracht tussen de Cr-metaallaag en het substraat, en de afzetting van de Cr-laag kan het directe contact tussen het N-element en de Fe-matrix vermijden, de gebruikelijke zelfverhelderende laagdefecten in de coating elimineren en de verbrossing verbeteren. van de coating.

Cr-CrN Geleidelijke overgangslaag: door N2 te injecteren en de N2-stroomsnelheid aan te passen, neemt het relatieve gehalte aan Cr-element in de coating geleidelijk af en neemt het gehalte aan N-element geleidelijk toe, waardoor de overgang van de N-component tussen Cr-basislaag en CrN wordt gerealiseerd laag, waardoor de negatieve impact van componentmutatie op de bindingssterkte van de coating effectief wordt vermeden en de overgang tussen de binnen- en buitenlagen van de coating beter wordt gemaakt. Tegelijkertijd kan de CrN-laag ook de slagvastheid van de coating verbeteren;

Sedimentatie CrN- (Cr,Ti,Al) N-gradiënttussenlaag: Het Ti-doel en het Al-doel worden geleidelijk gestart en de N2-stroomsnelheid wordt aangepast om het gehalte aan N-elementen in de coating en het gehalte aan Al en Ti te verhogen Ook wordt het element geleidelijk vergroot, waardoor de samenstelling van de middenlaag in verloop verandert. Omdat er geen duidelijk abrupt grensvlak is, kan het spanningsconcentratieprobleem binnen de coating worden verbeterd. Dit heeft een goed effect op het verminderen van de interne spanning van de coating en het verbeteren van de hechtkracht en mechanische sterkte van de coating.

Rassenafzetting (Cr,Ti,Al) N-toplaag: De CrAlTiN-toplaag houdt de procesparameters ongewijzigd, de afzetting is uniform, dicht en de samenstelling van elk element is stabiel, waardoor de defecten worden geëlimineerd die worden veroorzaakt door de segregatie van de samenstelling, en voldoet de gebruiksvereisten van snijgereedschappen en andere mechanische onderdelen.

IKS PVD-bedrijf, decoratieve coatingmachine, gereedschapscoatingmachine, DLC-coatingmachine, optische coatingmachine, PVD-vacuümcoatinglijn, het turn-key project is beschikbaar. Neem nu contact met ons op, e-mail: iks.pvd@foxmail.com