Onderhoudsstappen van Vacuum Coating Machine

Allereerst moet ervoor worden gezorgd dat de coatingmachine volledig in contact staat met de grond. De diffusiepomp en de olieversterkerpomp moeten voor het verwarmen op het koelwater worden aangesloten en de pomp inschakelen. Bovendien moet de pomp voor het vasthouden gedurende een half uur worden aangehouden nadat de diffusiepomp en de boosterpomp zijn gestopt met werken. Het water moet na een uur worden afgesneden. Maar als de pomp niet wordt afgekoeld tot onder 80 ° C, mag het koelwater niet worden afgesneden om te voorkomen dat de pompkern wordt verbrand.

Zowel de diffusiepomp als de boosterpomp hebben een stand-by wateruitlaat. Als de coatingmachine of de stroom uitvalt, moet de standby-uitgang worden gebruikt om de diffusiepomp en de boosterpomp te koelen. Voordat de coating wordt aangebracht, moet alle apparatuur op het koelwatersysteem worden aangesloten om te voorkomen dat de elektroden en het substraat worden verbrand. Diffusiepomp en olieversterkerpomp mogen niet in contact komen met de atmosfeer onder verwarming, om oxidatie van de pompolie te voorkomen. Controleer en regel het waterstrogrelais regelmatig om te zien of het water-uitschakelalarm normaal is en zorg ervoor dat de koelwatertoevoer naar het apparaat is gedeblokkeerd. Bij het demonteren en assembleren van onderdelen van de coatingmachine, moet u erop letten dat de afdichtende werkoppervlakken worden beschermd tegen mechanische krassen of beschadiging, om een betrouwbare afdichting van de coatingmachine te garanderen.

De onder vacuüm afgedichte delen van de overbrengingsassen zijn allemaal afgedicht in de vorm van "raamwerkolieverbindingen". De raamwerkolieverbindingen zijn gevuld met vacuümvet en diffusiepompolie met een zeer lage verzadigde oliedampdruk. Het slijt een tijdje en moet worden gevuld met hetzelfde vacuümvet en olie van de diffusiepomp. Let op: gebruik nooit andere oliën.