PECVD automatisch vacuümafzettingssysteem

Het afzettingssysteem bestaat uit een radiofrequentievoeding, een waterkoelsysteem en een substraatverwarmingsapparaat. Het is een kernonderdeel van PECVD. De functie van de RF-voeding is het ioniseren van het reactiegas. Het waterkoelsysteem zorgt voornamelijk voor koeling van de mechanische pomp, Roots-pomp, droge pomp, moleculaire pomp, etc. van het PECVD-systeem. Wanneer de watertemperatuur de vereiste temperatuur van het pomplichaam overschrijdt, stuurt het een alarmsignaal. Isolatiematerialen zoals kunststof buizen moeten worden gebruikt voor koelwaterleidingen en metalen buizen mogen niet worden gebruikt. De functie van het substraatverwarmingsapparaat is om het monster te verwarmen tot de vereiste temperatuur van het proces, onzuiverheden zoals waterdamp op het monster te verwijderen en de hechting tussen de film en het monster te verbeteren.

IKS PVD-bedrijf, decoratieve coatingmachine, gereedschapscoatingmachine, DLC-coatingmachine, optische coatingmachine, PVD-vacuümcoatinglijn, het turn-key project is beschikbaar. Neem nu contact met ons op, e-mail: iks.pvd@foxmail.com