PECVD-apparatuur Veelvoorkomende problemen en behandelingsmaatregelen: niet gloeien
Jul 01, 2023| Oorzaken en behandelingsmaatregelen voor het niet gloeien:
(1) Als de RF-voeding defect is, controleer dan of het uitgangsvermogen van de RF-bron normaal is.
(2) Het inlaatvolume van het reactiegas is klein, controleer of de gasstroommeter normaal is, verhoog indien normaal het inlaatvolume voor de test.
(3) de reinheid van de spouwplaat is niet voldoende, gebruik een multimeter om de grondweerstand van de bovenste en onderste platen van de holte te meten, de normale waarde moet hoger zijn dan tientallen megohm, indien abnormaal, reinig de spouwplaat.
(4) Als het RF-aanpassingscircuit defect is, controleer dan of het gereflecteerde vermogen van de RF-bron binnen het normale bereik ligt. Als het abnormaal is, controleer dan of de condensator en inductantie in het bijpassende circuit beschadigd zijn.
(5) De vacuümgraad is te slecht, controleer of de vacuümgraad van de holte normaal is.
IKS PVD-bedrijf, decoratieve coatingmachine, gereedschapscoatingmachine, DLC-coatingmachine, optische coatingmachine, PVD-vacuümcoatinglijn, het turn-key project is beschikbaar. Neem nu contact met ons op, e-mail: iks.pvd@foxmail.com
