Principe en toepassing van Holl Ion Source

Principe en toepassing van holl-ionenbron

Ion bron werk principe

Type ionenbron

Volgens de Ionische energie is verdeeld in:

Hoge energie 200V of hoger, zoals APS, RF, Kaufman ion Source;

Hall-ionbron onder lage energie 200ev

Verdeeld per type:

Kaufman-type en Hall-type

Hoe ionenbronnen werken

In een echte dichte omgeving wordt het gas dat in de vacuümkamer wordt gevuld verwijderd door de geëmitteerde elektronen te gebruiken onder de interactie van de elektrische en magnetische velden, en de ionen worden uitgestoten door de werking van de elektrische en magnetische velden.

Het structuurprincipe van zaalionbron
componenten:
De kathode - zendt elektronen uit
De anode - produceert ionen
Gasweg - levert geïoniseerd gas
De voeding

De structuur van Hall-ionenbron

De structuur van Kaufman ionenbron

Ionenenergie van ionenbron:

Split kaufman ion source: is de spanning tussen de anode en het rooster
Hall-ionbron: 65-70% van de anodespanning

IKS PVD, IET coatingapparatuur, contact: iks.pvd@foxmail.com