Selectie en functie gastank en onderhoudspomp

Vanwege de lange opstarttijd van de diffusiepomp en de olieversterkerpomp, in de periodiek bediende apparatuur, tijdens het laden en lossen, om de werkperiode te verkorten zonder de kracht van de diffusiepomp en de olieboosterpomp af te sluiten , de hoogvacuümklep is de pre-pijpleidingklep is gesloten om de hoofdpomp in normale werking te maken. Omdat de klep altijd een zeer kleine hoeveelheid luchtlekkage en oppervlaktedeflatie heeft, zal de druk aan de uitlaat van de hoofdpomp over een bepaalde tijdsperiode toenemen. Als deze de maximale persdruk van de hoofdpomp overschrijdt en terugkeert naar de pomp, oxideert de oliedamp.

Om dit probleem op te lossen, is de ene benadering om de steunpomp te gebruiken om het hoofdgas van de pompontlading verder te pompen, maar op dit moment is de hoeveelheid gas die door de hoofdpomp wordt geloosd erg klein en is er een fenomeen dat de steunpomp is overgekwalificeerd en verspilt veel energie. Er kan dus een andere methode worden gebruikt, stop het werk van de ondersteuningspomp, sluit de klep van de voorlijn en stel een onderhoudspomp of een gastank in bij de uitlaat van de hoofdpomp, die ervoor kan zorgen dat het gas in de hoofdpomp kan worden gebruikt. ontladen en energie bespaard. Gastanks kunnen niet te groot zijn, het kan alleen worden gebruikt op kleine systemen die de diffusiepomp gebruiken als de hoofdpomp, terwijl de pomp kan worden gebruikt op een groot hoofdpompsysteem. Een andere functie van de gasopslagtank is dat sommige kleinere applicatieapparatuur geen trillingen toelaat in haar proces, dat wil zeggen dat de steunpomp tijdens het proces moet worden gestopt, op dit moment wordt de gastank gebruikt om gas dat wordt afgevoerd uit de hoofdpomp op te slaan zorg voor de kwaliteit van het verwerkte werkstuk tijdens het proces.

De berekening van het volume van de gasopslagtank voor antivibratiedoeleinden is gebaseerd op het feit dat het gas dat door de diffusiepomp uit de vacuümkamer wordt afgevoerd volledig in de gastank wordt geloosd, waardoor de druk in de tank met meer dan De maximale uitlaatdruk aan de uitlaat van de diffusiepomp.

Het volume van de gasopslagtank ten behoeve van energiebesparing en verkorting van de werkperiode wordt berekend op basis van de volgende overwegingen: Wanneer de steunpomp stopt met werken en de diffusiepomp nog steeds in normale werking is, voert de diffusiepomp het gas naar de benzinetank. De gasbron op dit moment is het lekstroomdebiet tussen de hoogvacuümklep aan de inlaat van de diffusiepomp en de voorloopklep aan de uitlaat van de diffusiepomp, en de oppervlaktedeflatiestroom in het interval. Door deze stroming neemt de druk aan de uitlaat van de diffusiepomp toe, maar deze kan de maximale uitlaatdruk van de diffusiepomp niet overschrijden.

Het doel van het gebruik van de onderhoudspomp is om energie te besparen. Deze bevindt zich aan de uitlaat van de oliedampstroompomp, in het algemeen parallel met de mechanische pomp vóór de fase. Het is hetzelfde type pomp als de steunpomp. De ervaring heeft geleerd dat het handhaven van de pomppompsnelheid een tiende van de pompsnelheid van de steunpomp kan zijn. Het gebruik van een onderhoudspomp kan veel energie besparen en het omgevingslawaai verminderen.