Structuur en schematisch diagram van moleculaire pomp

De kerncomponenten van de moleculaire pomp zijn roterende bladen en stationaire bladen (figuur 1). De rotatiesnelheid van het roterende blad bereikt 1800 tot 90000 rpm, de snelheid aan de bladpunt bereikt enkele honderden meters per seconde, wat dicht bij de gemiddelde snelheid van het molecuul ligt. En gasmoleculen worden door botsing met de uitlaatpoort naar de uitlaatpoort getransporteerd. Wanneer het roterende blad dat ingesteld is om te worden ingesloten met een hoge snelheid roteert, is de waarschijnlijkheid dat de gasmoleculen bewegen van de zuigzijde naar de uitlaatzijde A, en de waarschijnlijkheid dat de gasmoleculen bewegen van de uitlaatzijde naar de zuigzijde is B. Het draaiende mes raakt de gasmoleculen, dan raken de gasmoleculen het vaste blad en vliegen naar het volgende roterende mes, uiteindelijk wordt het gasmolecuul uitgestoten naar de uitlaatpoort, waardoor A> B wordt gemaakt om de uitlaatfunctie te bereiken.

Uitlaatsnelheid van moleculaire pomp = Opening van zuigzijde × 11,6 × A / Bp

In formule verwijst p naar de toename van de druk.

Hoe groter de hoek van het blad, hoe hoger de uitlaatsnelheid kleiner is van de compressieverhouding. Als de hoek van het blad klein is, is de uitlaatsnelheid laag en de compressieverhouding groot. De uitlaatsnelheid van de moleculaire pomp wordt bijna niet beïnvloed door het gastype en de uiteindelijke druk van de pomp kan 10-8 Pa zijn, maar de snelheid van de uitlaat zal worden verminderd voor lichte moleculen / atomen.

Als een soort mechanische pomp met een hoge rotatiesnelheid, vereist de moleculaire pomp een hoge balans en is deze zeer kwetsbaar voor vaste vreemde stoffen. Dus meestal is een metalen filter geïnstalleerd aan de inlaat ervan. Wanneer de moleculaire pomp werkt, kunnen de bladen worden beschadigd als de druk plots verslechtert.

Fig.1 Structuur en schematisch diagram van een moleculaire pomp

Conventionele moleculaire pompen maken gebruik van lagers om een hoge rotatiesnelheid van de messen te garanderen. Maar de moleculaire pomp van het nieuwe type gebruikt magnetische levitatiestructuur, waardoor de snelheid van het blad voortdurend toeneemt, en tegelijkertijd is de moleculaire pomp meer geschikt voor het ultrahoogvacuümsysteem, en verlengt deze de levensduur van de moleculaire pomp.

In vergelijking met oliegesmeerde roterende schoepenpompen en turbo-type droge pompen, hebben moleculaire pompen een schonere werkomgeving en kunnen ze extreem hoge vacuümniveaus bereiken. Moleculaire pompen kunnen echter niet werken bij atmosferische druk en moeten worden gebruikt in combinatie met andere ruwe vacuümpompen (oliedichte roterende schoepenpompen of turbo droge pompen) die op atmosferische druk kunnen werken. De moleculaire pomp heeft gecompliceerde structuur en hoge prijs en er is trillingen tijdens rotatie met hoge snelheid.