De beste lekdetectietechnieken voor PVD-coatingmachines

Bubble Method Detection

PVD coating bubble methode detectie heeft de voorkeur voor PVD coating containers of apparaten die worden verwerkt. PVD-coating bubble-methode detectie betekent het vullen van het geteste onderdeel met een bepaald gaslekindicatorgas en vervolgens het geteste deel in de vloeistof doen. Het gas komt via het lekgat in de omringende vloeistof terecht en vormt zo bellen. En de plaats waar bellen zijn, is de positie van het lekgat. Verder kan de lekkagesnelheid van het gat worden geschat volgens de vormingssnelheid en de grootte van de bellen, evenals de fysische eigenschappen van het lekindicatiegas.

Cover Method Detection

Dekkingsmethode Detectie verwijst naar een methode die de hele PVD-coatinginrichting bedekt met een ethyleen plastic zak (deksel) en dan de zak vult met helium, dat wil zeggen dat de gehele vacuümcontainer is ondergedompeld in het helium voor lekdetectie. Nadat het gas volledig is geëvacueerd, moet het hoofdventiel, het ruwe ventiel en het lekventiel worden uitgeschakeld. En gebruik vervolgens een BA-ionisatie-vacuümmeter om de verandering in drukstijging te meten om te bepalen of er lekkage is.

De PVD-coating is de som van de drukstijging als gevolg van de gaslek en de drukstijging veroorzaakt door het materiaalontgassing, en tenslotte is het een lineaire toename die evenredig is met de tijd. Wanneer de PVD-coatingcurve een dergelijke toestand vertoont zoals hierboven beschreven, betekent dit dat de inrichting lekt. Wanneer er geen lekkage is en alleen het materiaal ontgast, moet de curve verzadigd zijn. Als er alleen lekkage is zonder materiaalontgassing, is het een rechte lijn die in het begin evenredig is aan de tijd.