De extractiesnelheid van methaan door ionenpomp
Sep 19, 2023| De extractiesnelheid van methaan door ionenpomp
Methaan is een van de belangrijkste redenen voor de verzwakking van de versnellerbundel. Als product van de reactie tussen waterstof en koolstof in metalen materialen is methaan een veel voorkomende gasbron in ultrahoogvacuümsystemen.
Hoewel methaan geen inert gas is, reageert het niet met een gasvanger, en ook niet met het kathodemateriaal dat in de ionenpomp wordt gesputterd. De gewone bipolaire ionenpomp heeft dus bijna geen pompsnelheid voor methaan, vergelijkbaar met het proces van inert gas. gas, methaan willen pompen, moesten we de efficiëntere StarCell- en Noble Diode-ionenpompen begraven.
Door Penning-ontlading in de ionenpomp worden methaanmoleculen (evenals andere koolwaterstofmoleculen) gekraakt en omgezet in kleinere deeltjes (C, CH3,... H), die een grotere kans hebben om "weggepompt" te worden, en de StarCell-ionenpomp pompt methaan en lichte koolwaterstoffen nog sneller dan stikstof.
IKS PVD-bedrijf, decoratieve coatingmachine, gereedschapscoatingmachine, DLC-coatingmachine, optische coatingmachine, PVD-vacuümcoatinglijn, het turn-key project is beschikbaar. Neem nu contact met ons op, e-mail: iks.pvd@foxmail.com