Type selectie van vacuümeenheid
Jun 30, 2018| 1. Samenstelling en classificatie van vacuümunits
De vacuümeenheid bestaat over het algemeen uit de volgende componenten: verschillende vacuümpompen, vacuümmeetapparaten, vacuümkleppen, vacuümbuizen en enkele andere componenten zoals blowers, vacuümverbindingen, gasopslagtanks, balgen, stofafscheiders en vacuümrelais.
Afhankelijk van de werkdruk van de unit, zijn er ruwe vacuümeenheden (> 1330Pa), laagvacuümeenheden (1330 ~ 0,13Pa), hoogvacuümeenheden (0,13 ~ 1,3x10-6 Pa), ultrahoogvacuümeenheden (1,3x10-6) ) ~ 1,3 x 10-11 Pa) en zeer hoog vacuüm-eenheid (<1,2 x="" 10-11="">
2. Lage vacuümeenheid
De belangrijkste kenmerken van de lage vacuümeenheid zijn hoge werkdruk en grote verplaatsing, maar de pompsnelheid is lager dan die van de hoogvacuümeenheid. Het wordt meestal gebruikt voor het ruw verpompen van de vacuümkamer en sommige vacuümunits die een hoge werkdruk vereisen, zoals vacuümafvoereenheden, vacuümimpregnatie-eenheden, vacuüm filtereenheden, vacuümontgassingseenheden, vacuümdroogeenheden enzovoort. De hoofdpompen van de laagvacuümeenheid zijn gewoonlijk heen en weer bewegende vacuümpompen, vacuümpompen met oliedichting, waterstraalpompen, waterdampstraalpompen, waterringpompen, oliedampjetpompen, adsorptiepompen met moleculaire zeef en wortelpompen. Bij gebruik van een unit met een laag vacuüm, is het ook nodig om componenten zoals een stofafscheider en een droog filter te configureren volgens de procesvereisten van de mate van reinheid en vochtigheid van het te pompen gas.
3. Hoge vacuümeenheid
3.1 Kies de hoofdpomp. De hoofdpomp kan een diffusiepomp, een moleculaire pomp, een sputter-ionenpomp, een titaniumpomp, een cryogene pomp enzovoort zijn.
3.2 Kies de steunpomp en de gasopslagleiding (schokbestendig, verkort de werkcyclus, voorkom een grote hoeveelheid ontluchting in de vacuümkamer en stabiliseer de uitlaatdruk van de diffusiepomp)
4. Ultrahoge vacuümeenheid
Het uiteindelijke vacuüm van de hoofdpomp is hoog, de lekkagesnelheid is laag en het is bestand tegen bakken bij 200-450 ° C.
4.1 Diffusiepompeenheid: verminder de terugstroming en controleer de vervuiling.
4.2 Moleculaire pompeenheid: de compressieverhouding tot waterstof is klein en het restgas is hoofdzakelijk waterstof.
4.3 Sputter ion pomp unit: Meestal gebruikt in combinatie met een titanium pomp.
4.4 Cryogene pompeenheid: geen vervuiling.