Typische soort vacuümsysteem

Het systeem dat gebruikt om te voldoen aan bepaalde eisen, kunnen verkrijgen en het meten van de specifieke vereiste vacuüm heet vacuümsysteem. Een vollediger vacuümsysteem bestaat uit Vacuuemcel, vereiste vacuümpomp of zuiginstallatie, vacuüm meting apparaat, verbinding conduit, vacuüm ventiel, val en andere vacuüm onderdelen en elektrische controlesysteem. Typische vacuümsysteem wordt weergegeven in Fig.1 en Fig.2.

1. Vacuuemcel afloopgebied ventiel2. ionisatie vacuüm gauge 3. Thermokoppel vacuüm gauge 4. Regelende klep stroom

5. hoog vacuüm ventiel6. verspreiding pomp 7. Gas opslagtank

8. thermokoppel meter (diffusie pompdruk pre stadium maatregelen)9. steun ventiel 10. Druksensor

11. pre-pompen ventiel12. wortels vacuümpomp 13. By-pass ventiel 14. Elektromagnetische afloopgebied ventiel

15. de mechanische vacuümpomp

Fig.1 schematisch diagram van een typische vacuümsysteem

1. Vacuuemcel2. ionisatie vacuüm gauge 3. Thermokoppel vacuüm gauge 4. Deflatie ventiel

5. hoog vacuüm ventiel 6. Koude val 7. Diffusie pomp 8. Steun ventiel 9. Elektromagnetische afloopgebied ventiel

10. mechanische vacuümpomp11 vooraf pompen ventiel

Fig.2 Schematisch diagram van een typische vacuümsysteem