
Compatibele vacuümmeters en controllers CDG045D 0,05 ~ 1000Torr / Mbar
INLEIDING INFICON SKY CDG045D-manometers zijn uw beste keuze voor een uiterst nauwkeurige meting en regeling van de totale druk. CDG045D-meters zijn temperatuurgeregeld op 45 ° C voor superieure signaalstabiliteit en herhaalbaarheid. Ze zijn beschikbaar voor de volledige schaal varieert van 50 mTorr tot 1000 Torr, met ...
- product Introductie
INVOERING
INFICON SKY CDG045D-manometers zijn uw beste keuze voor een zeer nauwkeurige meting van de totale druk en controle. CDG045D-meters zijn temperatuurgeregeld op 45 ° C voor superieure signaalstabiliteit en herhaalbaarheid. Ze zijn beschikbaar voor volledige schaalbereiken van 50 mTorr tot 1000 Torr, met alle gangbare flenstypen en veldbusinterfaces en leveren een lineair 0 tot 10 V, onafhankelijk gastanksignaal. INFICON capacitantiemanometers maken gebruik van een ultrazuiver aluminiumoxide keramisch membraan dat corrosiebestendig is. De voordelen van de keramische sensor zijn betere signaalstabiliteit, sneller herstel van de atmosfeer, korte opwarmtijd en een buitengewone levensduur. INFICON CDG zijn hoogwaardige, kosteneffectieve druksensoren voor veeleisende vacuümtoepassingen.
De INFICON SKY CDG045D capacitieve membraanmaten zijn directe vervangers voor de Oerlikon Leybold CTR 101-zenders. Haal het origineel van de fabrikant met wereldwijde ondersteuning en oplossingen voor alle toepassingen.
VOORDELEN
◆ Volledig compatibel met CTR 101-zenders
◆ Lagere CoO (cost of ownership), 50% snellere opwarming, energiezuinig laag stroomverbruik
◆ Eenvoudige integratie, grote verscheidenheid aan volledige schalen, flenzen en interfaces, standaard met twee instelpunten
◆ Eenvoudig één drukknop of signaal voor afstandsbediening nul signaal, regelbaar met nulpuntverschuiving
◆ Diagnosepoort voor snelle service en onderhoud
◆ Twee jaar garantie, langere levensduur met geavanceerd verwarmingsconcept en manometerbescherming
◆ Geen herkalibratie op lange termijn door uitstekende signaalstabiliteit en herhaalbaarheid, zelfs in barre plasma-applicaties
◆ Naleving en normen: CE, EN, UL, SEMI, RoHS
TYPISCHE APPLICATIES
◆ Ets, CVD, PVD en andere halfgeleiderproductieprocessen
◆ Chemische en bijtende vacuümprocessen
◆ Algemene dunne film- en vacuümprocessen
◆ Referentiesensor voor monitoring van testinstrumenten volgens internationale normen
◆ Overdrachtsnorm voor traceerbaarheidsmetingen
SPECIFICATIE
Type | 1000 Torr, 1100 mbar | 500 ... 1 Torr / mbar | 0,5 ... 0,05 Torr / mbar | |
Nauwkeurigheid | % van lezen | 0.15 | 0.15 | 0.15 |
Temperatuur effect | ||||
op nul | procent FS / ° C | 0.0025 | 0.0025 | 0.0025 |
op overspanning | % van aflezing / ° C | 0.01 | 0.01 | 0.01 |
Resolutie | procent FS | 0,003 | 0,003 | 0,003 |
Druk, max. | kPa (absoluut) | 400 | 260 | 130 |
Laagste waarde | procent FS | 0.01 | 0.01 | 0.01 |
Laagste aanbevolen lezing | procent FS | 0.05 | 0.05 | 0.05 |
Laagste aanbevolen stuurdruk | procent FS | 0.5 | 0.5 | 0.5 |
Temperatuur | ||||
Werking (omgeving) | ° C | +10 ... +40 | +10 ... +40 | +10 ... +40 |
Bake-out op flens | ° C | ≤110 | ≤110 | ≤110 |
opslagruimte | ° C | -20 ... +65 | -20 ... +65 | -20 ... +65 |
Voedingsspanning | +14 ... +30 VDC of ± 15 V (± 5%) | +14 ... +30 VDC of ± 15 V (± 5%) | +14 ... +30 VDC of ± 15 V (± 5%) | |
Energieverbruik | ||||
Tijdens opwarmen | w | ≤12 | ≤12 | ≤12 |
Op bedrijfstemperatuur | w | ≤8 | ≤8 | ≤8 |
Uitgangssignaal (analoog) | V (dc) | 0 ... +10 | 0 ... +10 | 0 ... +10 |
Reactietijd | Mevrouw | 30 | 30 | 130/30 |
Mate van bescherming | IP 40 | IP 40 | IP 40 | |
normen | ||||
CE-conformiteit | EN 61000-6-2 / -6-3, EN 61010 & RoHS | EN 61000-6-2 / -6-3, EN 61010 & RoHS | EN 61000-6-2 / -6-3, EN 61010 & RoHS | |
ETL-certificering | UL 61010-1, CSA 22.2 Nr.61010-1 | UL 61010-1, CSA 22.2 Nr.61010-1 | UL 61010-1, CSA 22.2 Nr.61010-1 | |
SEMI-conformiteit | SEMI S2 | SEMI S2 | SEMI S2 | |
Elektrische aansluiting | D-sub, 15- polig, mannelijk | D-sub, 15- polig, mannelijk | D-sub, 15- polig, mannelijk | |
Setpunt | ||||
Aantal setpoints | 2 (SP1, SP2) | 2 (SP1, SP2) | 2 (SP1, SP2) | |
Relaiscontact | V (dc) | ≤30 | ≤30 | ≤30 |
hysteresis | procent FS | 1 | 1 | 1 |
Diagnostische poort | ||||
Protocol | RS232-C | RS232-C | RS232-C | |
Lezen | druk, status, ID | druk, status, ID | druk, status, ID | |
set | instelpunten, filter, nul aanpassen, fabrieksreset, DC offset | instelpunten, filter, nul aanpassen, fabrieksreset, DC offset | instelpunten, filter, nul aanpassen, fabrieksreset, DC offset | |
Materialen blootgesteld aan vacuüm | keramiek van luminiumoxide (AI2O3), roestvrij staal (AISI 316L) | keramiek van luminiumoxide (AI 2 O 3 ), roestvrij staal (AISI 316L ) | keramiek van luminiumoxide (AI 2 O 3 ), roestvrij staal (AISI 316L ) | |
Intern volume | ||||
1/2 '' buis | cm³ (in.³) | 4,2 (0,26) | ||
DN 16 ISO KF | cm³ (in.³) | 4,2 (0,26) | ||
DN 16 CF-R | cm³ (in.³) | 4,2 (0,26) | ||
8 VCR® | cm³ (in.³) | 4,2 (0,26) | ||
Populaire tags: compatibele vacuümmeters en controllers cdg045d 0.05 ~ 1000torr / mbar, China, fabrikanten, leveranciers, kopen, aangepast, made in China
Misschien vind je dit ook leuk









