Massa-debietregelaar voor algemeen gebruik - MKS 1179C
De 1179C is een massastroomregelaar voor algemene doeleinden, ontworpen om de gassstroom in een groot aantal verschillende toepassingen te meten en te regelen. De 1179 mass flow controllers zijn verkrijgbaar met Full Scale-reeksen van 10 sccm tot 20 slm, waardoor een snelle, reproduceerbare stroomregeling tot zo laag als ...
- product Introductie
INVOERING
De 1179C is een massastroomregelaar voor algemene doeleinden, ontworpen om de gassstroom in een groot aantal verschillende toepassingen te meten en te regelen . De 1179 massastroomregelaars zijn verkrijgbaar met een volledige schaal van 10 sccm tot 20 slm, en bieden een snelle, herhaalbare stroomregeling tot slechts 0,2 sccm. Het kan ook worden gebruikt als een drukregelaar wanneer het wordt aangesloten op een geschikte druktransducer.
De 1179C is een directe vervangende vervanging van formulieren voor de meest voorkomende MFC's die momenteel op de markt zijn. Dankzij de standaard 3-inch voetafdruk kan de 1179C rechtstreeks in dezelfde ruimte vallen zonder de bestaande gasleidingen te wijzigen. Elektrische connectoren zijn van hetzelfde type "D" -connectoren, met dezelfde pennen, signalen en functies als hun tegenhangers in de industrie, dus geen herbedrading van kabels of connectoren is nodig. De 1179C is compatibel met MFC-voeding en display-elektronica van MKS of andere fabrikanten.
KENMERKEN & VOORDELEN
◆ Gepatenteerd 1 sensorontwerp biedt uitzonderlijke nulstabiliteit
◆ Schaal met volledige schaal varieert van 10 sccm tot 20 slm voor nauwkeurige en herhaalbare flowmeting en controle
◆ Percentage van de volledige schaal nauwkeurigheid voor analoge configuraties
◆ Snelle opwarmtijd minimaliseert dure productiestilstand
◆ Compatibel met eerdere MKS MFC en modules voor voeding / uitlezing
◆ Rigoureus ontwerp en testen omvatten MTBF-analyse en STRIFE-tests om prestaties op lange termijn te garanderen
◆ Oppervlakteafwerking van oppervlakken met bevochtigde roestvrije oppervlakken, cleanroomverwerking en minimaal gebruik van elastomeerafdichtingen maken gebruik bij veeleisende schone processen mogelijk
◆ Een garantie van twee jaar staat garant voor kwaliteit en klanttevredenheid
STRUCTUUR
Een doorsnede diagram van een 1179C Mass-Flo Controller
Flownauwkeurigheid en herhaalbaarheid
De bovenstaande grafiek toont de typische stroomnauwkeurigheid en herhaalbaarheid van analoge MFC's in de 1179C-familie. Metingen werden uitgevoerd met deMKS Instruments Califlow® primaire standaardstroomkalibrator over een periode van 10 dagen.
Zero Stability
De bovenstaande grafiek toont de uitstekende nul- en spanstabiliteit van de 1179C-sensor die wordt gebruikt in de 1179-familie. De instrumenten zijn ingeschakeld en willekeurig getest op nul en overspanning gedurende een periode van 19 maanden.
SPECIFICATIE
| Volle schaalbereiken (N 2 equivalent) | 10, 20, 50, 100, 200, 500, 1000, 2000, 5000, 10000, 20000 sccm | |
| Maximale inlaatdruk | 150 psig | |
Normale werkdruk differentiaal (met sfeervolle druk bij het MFC-stopcontact) | 10 tot 5000 sccm | 10 tot 40 psid |
| 10.000 tot 30000 sccm | 15 tot 40 psid | |
| Controle bereik | 2% tot 100% FS | |
Nauwkeurigheid (analoog) (inclusief niet-lineariteit, hysterese en niet-herhaalbaarheid gerelateerd aan 760 mmHg en 0 ° C) | ± 1,0% van FS | |
| herhaalbaarheid | ± 0,2% van FS | |
| Resolutie | 0,1% van FS | |
| Temperatuurcoëfficiënten | Nul | <0,05% van="" fs="" °=""> |
| Span | <0,08% van=""> | |
| Opwarmtijd (tot binnen 0.2% van FS van stabiele prestaties) | <2> | |
| Controller Settling Time (per SEMI-richtlijn E17-91) | <2> | |
| Drukcoëfficiënt | <0,02%> | |
| Normaal bedrijfstemperatuurbereik | 0 ° C tot 50 ° C | |
| Ingangsspanning vereist | Max. stroom bij opstarten (eerste 2 sec) | ± 15 VDC (± 5%) @ 200 mA |
| Typische stroom bij steady-state | ± 15 VDC (± 5%) @ 100 mA | |
| Set Point Command Signal | 0 tot 5 VDC vanaf <> | |
| Uitgangssignaal | 0 tot 5 VDC in> 10K Ω | |
| Uitgangsimpedantie | <1> | |
Connectortypen Analoog | 9-pins of 15-pins Type "D" (De 15-pins Type "D" -connector is elektronisch compatibel met andere MKS-stroomregelaars . Raadpleeg Applications Engineering voor meer informatie.) | |
| Bevochtigde materialen | Standaard | 316L SS, Viton ®, nikkel |
| Optioneel (afdichtingen en klepzitting) | Buna-N, Neoprene ®, Kalrez ® | |
| Lekintegriteit | Extern (scc / sec He) | <1 x="" 10=""> |
| Door gesloten klep | <1,0% van="" fs="" bij="" 40="" psig="" inlaat="" naar="" atmosferische=""> (Om te zorgen voor geen doorstroming, wordt een afzonderlijke positieve afsluitklep aanbevolen.) | |
| Fittingen (compatibel met) | Swagelok ® 4 VCR ®, Swagelok ® 4 VCO ®, ¼ '' Swagelok | |
| Nakoming | CE | |
DIMENSIONALE TEKENING
Opmerking: Tenzij anders aangegeven, zijn afmetingen nominale waarden in inches (mm waarnaar wordt verwezen).
Populaire tags: universele massastroomregelaar - mks 1179c, China, fabrikanten, leveranciers, kopen, aangepast, made in China
