Mass Flow Meter
D07 - 7KM massa flowmeter invoering de massa flowmeter (MFC) uit drie basisapparaten bestaat: flowsensor, stroom-splitter rondweg en printplaat, meet het nauwkeurig massastroom tarieven despites gas volume als gevolg van temperatuurveranderingen schommelde. Het MFC is op grote schaal toegepast in de velden...
- product Introductie
Introductie
De massale flowmeter (MFC) bestaat uit drie basisapparaten: flowsensor, stroom-splitter rondweg en printplaat, meet het nauwkeurig massastroom tarieven despites gas volume als gevolg van temperatuurveranderingen schommelde. Het MFC is op grote schaal toegepast op het gebied van halfgeleider en IC fabricage, speciale materiaalkunde, chemische industrie, petrolic industrie, farmaceutische industrie, bescherming van het milieu, vacuümsysteem onderzoeken, enz.
Typische toepassing
De typische toepassingen van MFC omvatten microelectronic procesapparatuur zoals diffusie, oxidatie, epitaxie, CVD, plasma, etsen, sputteren, ion implantatie en andere veld zoals vacuüm afzetting apparatuur de optische vezel smelten, micro-reactie apparatuur, mengen & bijpassende gassysteem, capillaire stroomsysteem voor controle, gaschromatograaf en andere analytische instrumenten.
D07 - 7KM MFC heeft de voordelen van hoge precisie, lange levensduur, uitstekende herhaalbaarheid, snelle reactie, soft start, goede betrouwbaarheid, brede werking drukbereik (goede werking in hoge druk of vacuüm situatie), eenvoudige en gemakkelijke bediening, enz. Het kan geïnstalleerd worden waar nodig en met de computer verbonden te realiseren van automatische controle.
Specificatie
Bereiken van Flow | (20,30,50,100,200,300,500) SCCM (0 ~ 1, 2, 3, 5, 10) SLM |
Nauwkeurigheid | ±1.5%F.S |
Lineariteit | ±1%F.S |
Herhaalbaarheid | ±0.2%F.S |
Responstijd | ≤4 sec |
Temperatuurcoëfficiënt | Nul: ≤±0.1%F.S./℃;Span: ≤±0.2%F.S./℃ |
Max druk | 3MPa |
Bedrijfstemperatuur | 5℃ ~ 45℃ |
Afdichting materiaal | Viton, neopreen |
Instelling/uitgangssignaal | 0V ~ + 5.00V (Ingangsimpedantie > 100K, Output Current≤3ma) |
Voeding | + 15V 50mA -15V 50mA |
Elektrische aansluiting | D-sub 15 pins Female |
Drukverschil | < 0,01=""> |
Lek snelheid | 1 × 10-8atm•cc / sec hij (1 × 10-9 Pa•m3/sec hij) |
Standaard Joint | SwagelokΦ8, SwagelokΦ6, SwagelokΦ3, Swagelok1/8 ", φ4 (binnenste) × 1 slang koppelstuk, VCR1/4", Swagelok1/4", φ6 (binnenste) × 1 slang koppeling |
Media | Alle Gas |
EMI | CE |
Gewicht | 0,92 kg |
Installatie dimensie
