Boort PVD Vacuum Coating Machine

maximale substraatdiameter * hoeveelheid

φ 150 * 12 个

pomp tijd

atm tot 6X10 ^-3 <15>

werkspanning / frequentie

380V / 50Hz

echte macht

70 KW

Technologie

HCD + ARC

doel hoeveelheid

12 stks

ultieme druk

5,0 * ^10-4 Pa

leksnelheid

10 ^{- 3} Pa.L / s

standaard coating

TiN 、 CrN 、 AlTiN 等

optionele coating

TiAlCrN etc.

draaitafel structuur

beneden structuur

kamerconstructie

Verticale enkele deur

Type stroombron

Arc power, pulse bias power, E-gun power

Pompsysteem

Turbomoleculaire pomp, wortelpomp, monoblokpomp

Coating cyclus

3-6 uur / oven

Totale grootte

L4200 * W3200 * H2200MM

Opbrengst / oven

freesφ 10 * 70 880 stks

Mesdeeltjes φ 18 * 6 6400

kookplatenφ 80 * 80 64

modellen 500KG

match staat

• Circulerende waterdruk ： 2-3 KG / CM 3

• watervolume ： 10T / H

perslucht ： 4-6 KG / CM3

Controle methode

handmatig + semi-automatisch +

• volledig automatisch geïntegreerd

/ aanraakscherm + PLC

Zelf ontwikkelde coatingsoftware

werkgas

Ar 、 N ² 、 O ² 、 C ² H ²

Opmerking

De grootte van de vacuümkamer, de totale grootte, het uiterlijk van de apparatuur kan worden aangepast volgens klantproducten of speciale procesvereisten