Karakterisatie van vacuümgraad, eenheid en verdeling van vacuümgebied

Karakterisatie van vacuümgraad, eenheid en verdeling van vacuümgebied

IKS PVD, we produceren PVD-vacuümcoatingapparatuur, neem nu contact met ons op, iks.pvd@foxmail.come

Het is niet erg redelijk om druk te gebruiken om de vacuümgraad weer te geven, die is gebruikt in de geschiedenis van het meten van vacuüm door u-type manometer.

In het algemeen wordt het vacuümsysteem, de hydrostatische fysische hoeveelheid isotroop neutrale gasdruk gewoonlijk gebruikt om de mate van vacuüm tot uitdrukking te brengen. Daarom komt het meten van de vacuümgraad alleen maar neer op het meten van de druk. Er moet echter speciale aandacht worden besteed aan de meetomstandigheden, namelijk de stationaire (willekeurige beweging), stationaire toestand en isotroop enkelvoudig neutraal gas in een eindige houder. In dit geval zijn de maxwell-snelheidsverdeling, de cosinusverstrooiingswet en het hydrostatische drukconcept (p = nkT, v = 1 / 4nc, p = ph ) redelijk consistent met de objectieve realiteit, de vacuüm-graadmeting is relatief eenvoudig en gemakkelijk.

Volgens de definitie van vacuümgraad is het beter om de vacuümgraad uit te drukken door moleculaire dichtheid n, en het is niet tegenstrijdig om de vacuümgraad door druk uit te drukken. Wanneer de druk wordt gemeten, bevindt het gas zich over het algemeen in een evenwichtstoestand en voldoet het aan de wet van snelheidsverdeling van maxwell, dat wil zeggen p = nkT is waar. De temperatuur van het gas is constant op het moment van meting, dus de druk van het gas p is evenredig met de moleculaire dichtheid n. Met andere woorden, de druk is een maat voor de moleculaire dichtheid, zodat het vacuüm kan worden uitgedrukt als druk.

In ruimteonderzoek, is het onderzoeksobject de beweging van de oneindige ruimte (1 ~ 10 KMS - 1 of hoger) en onder de actie van complexe onstabiele, geïntegreerde omgevingsatmosfeer, hoeven de Max snelheidsnelheidswet en de cosinusverstrooiingswet niet noodzakelijk, ook de oorspronkelijke fysieke betekenis verloren, zodat de druk van vacuümmeting ingewikkelder en moeilijker is.

Over het algemeen is het populair en wordt het gebruikt om vacuümgraad uit te drukken door druk, maar het is niet de enige. De volgende parameters kunnen ook worden gebruikt om de vacuümgraad weer te geven:

Wanneer de mate van vacuüm zeer hoog is, dat wil zeggen, wanneer de moleculaire dichtheid erg klein is, is de statistische fluctuatie zeer duidelijk. Wanneer bijvoorbeeld de druk p = 10-12pa is, is de statistische fluctuatie groter dan 5 keer 10-2 en heeft de druk zijn ware betekenis verloren. In sommige gevallen is druk dus slechts een relatieve indicator voor andere hoeveelheden .

1. V & A

Vacuümeenheden?

De druk van een gas gedefinieerd door de botsing van een gasmolecuul op een oppervlak is de snelheid waarmee de verticale component van momentum van een gasmolecuul botst met een oppervlakte-eenheid, dat wil zeggen de kracht die per oppervlakte-eenheid in Pascal wordt ontvangen. of Pa.

1 pa = 1 Nm - 2

In engineering is soms de waarde van pa te klein, kPa en MPa worden vaak gebruikt om druk uit te drukken. Laag vacuüm, soms uitgedrukt als "vacuümpercentage", zoals waterringvacuümpomp, heen en weer bewegende vacuümpomp en rechte luchtwortels vacuümpomp, vaak uitgedrukt in dit eenheidsvacuüm. Wanneer de druk p> 102 Pa is, is het vacuümpercentage delta.

Waar: p0 - standaard atmosferische druk, Pa

Vacuüm zonering

Met een eenheid voor het meten van de mate van vacuüm kan de mate van vacuüm kwantitatief worden uitgedrukt. Momenteel heeft het drukbereik van de vacuümechnologie echter 20 ordes van grootte bereikt, om het gebruik te vergemakkelijken, soms is het alleen nodig om grofweg het algemene bereik van de vacuümgraad aan te geven, meestal kwalitatief verdeeld in verschillende gebieden, ruwweg vacuüm . De fysische kenmerken van gasmoleculaire beweging in vacuümtoestand en het effectieve werkbereik van vacuümpomp en vacuümmeter worden beschouwd als de basis van de verdeling van regio's.

Wat de verdeling van vacuümregio's in China betreft, luidt de term vacuümtechnologie (gb3163-1982) als volgt:

Grofvacuüm, laag vacuüm en hoogvacuüm worden verdeeld volgens het gemiddelde vrije pad van gasmoleculen in vergelijking met de karakteristieke maat d van de container. De belangrijkste overweging is of de botsing tussen gasmoleculen of de botsing tussen gasmoleculen en de wand van het apparaat een doorslaggevende rol speelt bij het optreden van fysische verschijnselen.

De grens tussen hoogvacuüm en ultrahoog vacuüm wordt ingesteld op 10-6 Pa. De belangrijkste reden is om het vacuüm-fysische adsorptiemechanisme te beschouwen. Alleen wanneer de druk p <10-6 pa="" duidelijk="" is,="" kan="" deze="" worden="" verkregen="" door="" de="" diffusiepomp="" voor="" extractie="" en="" de="" druk="" wordt="" gemeten="" door="" de=""> Wat betreft de grens tussen ultrahoog vacuüm en ultrahoog vacuüm, komt dit doordat statistische fluctuatie (groter dan 5 * 10-2) optreedt wanneer p <10-12>

De bovengenoemde vacuümgebieden zijn verdeeld in gebieden die een drukbereik representeren, om de reden dat druk nog steeds wordt uitgedrukt in graden. Bij een laag vacuüm, een hoog vacuüm, een zeer hoog vacuüm en een zeer hoog vacuüm, is de genoemde druk echter wezenlijk anders, alleen een relatieve indicatie van andere grootheden.

De fysische kenmerken van vacuüm, vacuümpomp en vacuümmeter die in elke regio worden gebruikt, zijn gedetailleerd in tabel 1.

Met de ontwikkeling van vacuümtechnologie is ook de verdeling van vacuümregio's veranderd.