Hoogvacuümsysteem
Oct 25, 2023| Hoogvacuümsysteem
Het hoogvacuümsysteem wordt veel gebruikt en het werkdrukbereik bedraagt doorgaans 1,33×10-2 ~ 1,33×10-3Pa. Veel voorkomende pompsystemen zijn:
(1) Mechanisch pompvacuümsysteem uit de diffusiepompserie. Zoals weergegeven in figuur 5-2 kan dit systeem een vacuüm van 10-2 ~ 10-5Pa verkrijgen, dat over het algemeen wordt gebruikt in toepassingsapparatuur met relatief weinig uitlaatgassen tijdens bedrijf. Het systeem heeft de voordelen van een eenvoudige structuur, betrouwbare werking en lage kosten. Het nadeel is dat het systeem langzaam opstart en de voortrektijd lang is. De oliedamp van de diffusiepomp kan gemakkelijk terugstromen in de vacuümkamer.
(2) olie-boosterpomp uit de diffusiepompserie en vervolgens een mechanisch pompvacuümsysteem in serie. Het systeem heeft een korte voortrekkingstijd, maar een langzame start.
(3) serie diffusiepomp Roots-pomp, en vervolgens serie mechanisch pompvacuümsysteem. Het starten gaat traag, maar de voorpomptijd is kort.
IKS PVD-bedrijf, decoratieve coatingmachine, gereedschapscoatingmachine, DLC-coatingmachine, optische coatingmachine, PVD-vacuümcoatinglijn, het turn-key project is beschikbaar. Neem nu contact met ons op, e-mail: iks.pvd@foxmail.com