Ultrahoogvacuümsysteem

Ultrahoogvacuümsysteem

Een mechanisch koelvalsysteem uit de diffusiepompserie
Figuur 5-13 toont het vacuümsysteem, diffusiepomp serie twee koude val voor vloeibare stikstof, en de vacuümkamer en koude val 6 zijn bestand tegen bakken bij 400 ~ 450 graden. Bij deze temperatuur kan het gas dat is geadsorbeerd aan de wand van de vacuümkamer en de wand van de koude val, en kan de gecondenseerde pompolie worden verwijderd. Het systeem kan doorgaans een grensvacuüm van 1,33×10-7Pa bereiken.

▲ Afbeelding 5-13 Ultrahoogvacuümsysteem van de oliediffusiepomp: 1- Vacuümkamer 2- Thermokoppelvacuümmeter 3-BA-vacuümmeter 4- Ontluchtingsklep {{7} } Ultrahoogvacuümklep 6,7- koude val 8- ionisatievacuümmeter 9- Diffusiepomp 10- voorste pijpklep 11- voorste condenspot 12- Magneetklep 13- Mechanische pomp 14- ultrahoogvacuümleidingklep 15- bakapparaat

IKS PVD-bedrijf, decoratieve coatingmachine, gereedschapscoatingmachine, DLC-coatingmachine, optische coatingmachine, PVD-vacuümcoatinglijn, het turn-key project is beschikbaar. Neem nu contact met ons op, e-mail: iks.pvd@foxmail.com