Prestaties en voordelen van een turbinemoleculaire pomp

Turbo-moleculaire pomp is het gebruik van hoge snelheid rotatie van de bewegende rotor om het momentum door te geven aan de gasmoleculen, de gas gegenereerde directionele stroom van de vacuümpomp . Turbomoleculaire pomp hoofdzakelijk componenten door het pomplichaam, de rotor met het blad (dwz bewegende impeller), statische drijvende kracht en aandrijvingssysteem.

Voordeel

Als turbo-moleculaire pomp is het in sommige opzichten beter dan dat de cryogene pomp, ionenpomp en de prestaties van de diffusiepomp superieur zijn. Daarom is in het algemeen meer gebruik van turbopompen.

(1) Schone, olievrije stoomterugvloeiing

Turbomoleculaire pomp kan zonder put werken en werken volgens de bedieningsregels, die een schone vacuümomgeving voor de verpompte container kunnen bieden en geen koolwaterstoffen bevatten.

(2) Handig om te gebruiken

In veel toepassingen hebben turbopompen mogelijk geen hoogvacuümventielen of ruwe vacuümkleppen nodig. Druk gewoon op de knop, de pomp kan beginnen te werken, van de atmosferische druk kan worden teruggebracht tot de ultieme druk. Het systeem kan ruw worden gepompt door turbo-moleculaire pompen en kan worden versneld tot aan de werksnelheid. Dit elimineert de noodzaak voor kleppen, leidingen, vallen, klepbedieningen en andere vacuümcomponenten. Het elimineert ook het falen van deze componenten.

(3) Sterke gastransportcapaciteit

De meeste turbo-moleculaire pompen hebben een sterk vermogen om lichte gassen zoals waterstof en helium af te geven, waardoor ze ideaal zijn voor procesbewerkingen onder ultrahoog vacuüm. Een turbo-moleculaire pomp, speciaal ontworpen voor de verwijdering van corrosieve gassen, is geschikt voor etsen, reactief ionenetsen, ionenstraalbewerking, chemische dampafzetting bij lage druk, epitaxie en ionenimplantatieprocessen. Tijdens de processen kan het geëvacueerde gas cryogene pompen, ionenpompen, diffusiepompolie aantasten en zelfs de standaard onbeschermde turbomoleculaire pompen vernietigen. Omdat de turbo-moleculaire pomp deel uitmaakt van de transmissiepomp, zal het opgepompte gas niet worden geaccumuleerd in de pomp, dus het is geschikt voor het proces van hoge gasbelasting.

(4) Geschikt voor ultrahoge vacuümtoepassingen

Een goede turbo-moleculaire pomp voor afdichting en ontgassing is uitgerust met een tweetrapsrotatiepomp met goede prestaties (of dezelfde droge voorpompprestatie). Het uiteindelijke vacuüm kan ^10-9 tot ^10-10 Torr (133,3 tot 13,33 nPa) bereiken. Als een turbomoleculaire pomp is aangesloten op een andere turbomoleculaire pomp met behulp van een met metaal afgedichte en goed ontgaste pomp, is de uiteindelijke druk meestal 1 x ^10-10 tot 1 x ^10-11 Torr (13,33 tot 1,333 nPa) tussen. En in tegenstelling tot cryogene pompen of ionenpompen werken turbo-moleculaire pompen op volle pompsnelheid onder omstandigheden met ultrahoog vacuüm.

(5) Goede prestaties onder hoge druk

De inlaatdruk van sommige turbo-moleculaire pompen kan tussen ^10-1 en ^10-3 Torr (13,33 Pa tot 133,3 mPa) lopen. In dit drukbereik kan de ionenpomp niet worden gebruikt, want de cryogene pomp moet de pompsnelheid of reguliere regeneratie regelen en het werk van de diffusiepomp zal instabiel worden.

(6) Korte cyclustijd

De meeste turbomoleculaire pompen, vooral kleinere, hebben meestal 1 ~ 3 min nodig om de normale loopsnelheid te bereiken. Pompen voor verschillende typen en modellen zijn verschillend en kunnen onmiddellijk worden uitgeschakeld en kunnen worden blootgesteld aan de atmosfeer.

(7) Normaal gebruik gedurende lange tijd

In sommige toepassingen is de normale gebruikstijd van de turbo-moleculaire pomp superieur aan die van andere pompen. Vanwege de zware gasbelasting en kleplekkage, zal de cryogene pomp vaak variabele intervalregeneratie of ionenpomp vaak repareren, en kan een turbomoleculaire pomp ook worden gebruikt om de pompolieverontreiniging van de vacuümkamer te elimineren.