De werkende principe en technische kenmerken van meerdere boog Ion-Plating

Multi boog ion-plating is een nieuwe coating voorbereiding technologie ontwikkeld op basis van vacuüm verdamping en vacuüm sputteren. Het heet ook vacuüm boog verdamping, die gebruik maakt van vacuüm boog kwijting voor arc verdamping source. Omdat meerdere arc-ion technologie plating de kenmerken van hoge afzetting tarief, goede coating hechting, dichte deklaag en gemakkelijke bediening heeft, heeft het wijd gebruikt op het gebied van oppervlakte aanpassing van materialen.

In 1963, Mattox voorgesteld en gebruikt ion technologie plating voor de eerste keer; in 1972 ontwikkeld Bunshah et al. actieve reactieve verdamping (ARE) technologie; Mulayama et al. vond in 1973, radiofrequentie excitatie ion-plating. In de jaren 1980, ion-plating uitgegroeid tot een high-tech industrie in de wereld. De belangrijkste producten omvatten TiN, TiAlN slijtvaste lagen en TiN imitatie gouden decoratieve coatings op sneldraaistaal en harde legering tools. In 1982, multi arc bedrijf van de Verenigde Staten commerciële apparatuur voor multi boog ion-plating voor het eerst gelanceerd en in 1986, China begon de productie van meerdere arc-ion plating apparatuur. In de jaren 1990, is de ion technologie plating grote vooruitgang geboekt. In vergelijking met de jaren 80, de ion-plating apparatuur en technologie enorm verbeterd. In de afgelopen jaren diverse soorten ion coating machine apparatuur vervaardigd overeenkomstig de eisen van de verschillende gebruiken, waarvan sommige hebben bereikt het niveau van de industriële productie.

Werkingsprincipe van de multi boog ion-plating

Het werkingsprincipe van multi arc-ion technologie plating is voornamelijk gebaseerd op koude kathode vacuüm boog geen kwijting theorie. Nagloeien van de vacuüm boog, sommige winstdeling, verscheen helder en gevarieerde vlekken van verschillende grootte en vormen op het oppervlak van het doel van de kathode. Ze bewegen snel onregelmatig op het oppervlak van de kathode, sommige plekken zijn gedoofd en sommige vlekken worden gevormd op andere plaatsen om het verbranden van de boog. De stroomdichtheid van de kathode-spot is maximaal 104 ~ 105A/cm2, en stoot metalen damp met een snelheid van 1000 m/s, een metaal atoom kan worden afgevuurd voor elke 10 elektronen uitgestoten. En vervolgens deze atomen zijn vervolgens geïoniseerd in zeer energieke positieve ionen. Het positieve ion wordt gecombineerd met andere ionen wanneer het wordt geëxploiteerd in een vacuuemcel en op het oppervlak van het werkstuk gestort te vormen van de film.

De theorie van de geen kwijting vacuüm boog is van mening dat de migratie van elektrische hoeveelheid voornamelijk te wijten aan veld elektron emissie en positief ion stromen is. Deze twee mechanismen bestaan op hetzelfde moment en beperken van elkaar. Tijdens de kwijtingsprocedure verdampt de kathode materiaal in grote hoeveelheden. De positieve ionen geproduceerd door deze gevaporiseerde atomen produceren een sterk elektrisch veld op zeer korte afstand in de buurt van het oppervlak van de kathode.

Technische kenmerken van meerdere boog ion-plating

Het opvallende kenmerk van het multi-arc-ion plating proces is dat het plasma opgebouwd uit zeer geïoniseerd verdampte materialen kan produceren. En verdamping, ionisatie en versnelling zijn alle geconcentreerd op de kathode plek en in de kleine ruimte om hen heen.

Kenmerken:

(1) het plasma wordt geproduceerd vanuit de kathode.

(2) kwalitatief incident deeltjes energie en coating dichtheid, goede sterkte en duurzaamheid.

(3) hoge ionisatie tarief, en in het algemeen tot 60% - 80%

(4) het percentage afzetting is snel en de beplating eigenschap is goed.

(5) de apparatuur is relatief eenvoudig en het is veiliger om te werken met een laag-voltage power supply.

Resultaten van het technische onderzoek

IKS actief heeft samengewerkt met binnenlandse en buitenlandse bedrijven en wetenschappelijke onderzoeksinstituten en verheugend successen geboekt in sommige veelgebruikte coating toepassingen. Het coatingproces kan worden gebruikt om de film coating met hoge hardheid, thermische stabiliteit en chemische stabiliteit. En verschillende fysieke vapor deposition coatings, zoals TiN, TiCN, AlTiN, AlTiSiN, CrN, DLC, enz.