Vacuüm omgeving van sputtercoating
Jun 26, 2018| 1. Vacuümkamer basisdruk
(1) Een verscheidenheid aan magnetronsputterbekledingsprocessen moet worden uitgevoerd in een vacuümkamer; de vacuümgraad van de gesloten metaalholte is in het algemeen vereist om 10-3 Pa ~ 10-5 Pa te bereiken; sommige coatingprocessen kunnen zelfs een hogere vacuümbehoefte hebben.
(2) Als gevolg van het leeglopen van het geadsorbeerde gas op de binnenwand van de vacuümmetaalholte en het magnetron-trefplaatoppervlak, duurt het lang om het vereiste vacuümniveau van de coating te bereiken bij de eerste keer van het voorpompende vacuüm. Na het bereiken van de vereiste vacuümgraad, omdat de deflatie in wezen is voltooid, zal de vacuümtijd sterk worden verminderd bij het tweede keer opnieuw evacuatievacuüm.
2. Werkend gas
Volgens verschillende filmlagen en procesvereisten, wordt in de vacuümkamer met een druk inert gas ontladen bij een druk van 0,1 tot 1 Pa (RF magnetron sputteren: 0,1 Pa tot 0,05 Pa) in magnetron sputterproces. Het inerte gas zijn veel gebruikte gassen, zoals argon Ar, Helium Kr, Helium Xe, Helium Ne en stikstof N2. Argon wordt meestal gebruikt als werkgas voor magnetronsputteren vanwege de lage prijs en gemakkelijke beschikbaarheid.
3. Werkende gasdruk
(1) De werkgasdruk van DC en IF gepulseerde magnetron sputtering is over het algemeen tussen 0.3 ~ 0.8Pa (typische waarde is 5 * 10-1 Pa).
(2) RF magnetron sputteren kan normaal worden uitgevoerd onder de werkdruk van 10-1 ~ 10-2 Pa.
(3) Het magnetronsputterproces van sommige kathodedoelen (zoals lage eisen aan de zuiverheid en oppervlakteruwheid van de filmlaag) kan ook efficiënt worden afgezet onder een werkdruk van 1 Pa - 10 Pa of zelfs hoger.
(4) Verschillende factoren, zoals de grootte van de vacuümkamer, de gasstroomsnelheid, de vacuümpompsnelheid en de openings- en sluitingshoek van de schuifafsluiter, kunnen de werkgasdruk beïnvloeden. De uiteindelijke detectiewaarde van de werkgasdruk moet feitelijk worden beschouwd als het resultaat van de dynamische balans van de gasstroom / vacuümpompsnelheid en de openings- en sluitingshoek van de schuifafsluiter.