Analyse van Power-Carrying-mogelijkheden van Magnetron-sputtertrefplaten
May 24, 2018| 1. Doelgebied en belastingsvermogensbereik
(1) De vermogensdichtheid van een cirkelvormig planair magnetrondoel is in het algemeen 1 ~ 25w / cm2
(2) De vermogensdichtheid van een rechthoekig planair magnetrondoel is 1 ~ 36w / cm2
(3) De vermogensdichtheid van het kolomvormige magnetrondoel en het conische planaire magnetrondoelwit (S-pistool) is in het algemeen 40 - 50 w / cm2.
2. Werkelijk draagvermogen van magnetrondoel
In aanvulling op de sputtertechnologie en de kwaliteit van de film, is het werkelijke draagvermogen van het magnetronobject ook nauw gerelateerd aan de koelomstandigheden en warmtedissipatiecondities van het doelwit.
Magnetrondoelen kunnen worden onderverdeeld in twee typen "direct waterkoelingsdoel" en "indirect waterkoelingsdoel" op basis van de koelmethode.
Gezien de veroudering van het doelwit na langdurig gebruik, zijn de warmtedissipatieomstandigheden slecht, en rekening houdend met verschillende warmteoverdrachtscoëfficiënten van verschillende doelmaterialen, het ultieme belastingsvermogen van het magnetrondoel en het werkelijke maximale vermogen van het directe waterkoeldoel kan licht lager worden ingesteld dan de bovengrens van het vermogensdichtheidsbereik. En de werkelijke maximale belasting van het indirecte doel voor waterkoeling kan ongeveer de helft van de bovengrens van het vermogensdichtheidsbereik worden ingesteld.
Wanneer magnetrondoelen (hoofdzakelijk Cu, Ag, Brass en Al brons) "zelfsputteren" zijn, wordt meestal een magnetronsputterdoel gebruikt dat specifiek is ontworpen om "direct water-koel" te maken. Het ultieme draagvermogen voor gebruik moet groter zijn dan de bovengrens van het bereik van de beoogde vermogensdichtheid.