Elektronenstraalverdampingsbekledingsapparatuur
EB PVD optische coatingmachine, toepassingen: brillen, reflecterende spiegel, mobiele telefoon backboard, beschermhoes, optische communicatie, optische weergave, enz.
- product Introductie
IKS-OPT2700 Electron Beam verdamping optische coating machine
l toepassingen:
Brillen, reflecterende spiegel, achterwand van mobiele telefoon, beschermhoes, optische communicatie, optische weergave, enz
l Apparatuur korte
IKS-OPT2700 is ontworpen voor de optische filmcoating met groot oppervlak. Het is een elektronenstraalverdampingsmachine. Het coatingmachinesysteem bestaat uit vacuümkamer, vacuümpomp, vacuümdetectie en -besturing, substraatverwarmingssysteem, elektronenbundelverdampingssysteem, ionenbronondersteund depositiesysteem, weerstandverdampingssysteem, filmdiktemonitoringsysteem, werkgasvolumestroomregelsysteem, werk stukrotatiesysteem en automatische coating gecontroleerd door PLC.
Het verdampingsmateriaal wordt gewoonlijk gebruikt van zeldzame metalen, zoals yttriumfluoride, praseodymiumfluoride, germanium, zinksulfide, magnesiumfluoride, titaandioxide, siliciumdioxide, zirkoniumoxide, kobalt, gallium, selenium en andere metalen. Koper, molybdeen, silicium, germanium en andere metalen worden vaak gebruikt in de optische materialen van reflectoren.
Het kan een film van zichtbaar licht, een reflecterende film van aluminium, een AF-film met anti-vingerafdrukken, een organische film met een laag smeltpunt, een spectroscopische film met zichtbaar licht, een film van zichtbaar licht tegen reflectie, enz.
l Uitrustingskenmerken
IKS-OPT2700 optisch filmcoatingsysteem met groot oppervlak, met behulp van optimaliseringsvacuümkamerstructuur, innovatieve cryogene pomplay-out, stabiel werkstukontwerp met roterend frame, geavanceerd elektronenstraalverdampingssysteem, instelbaar uniformiteitsaanpassingsapparaat en de gehumaniseerde automatische coatingprocescontrole, om te bereiken een stabiele vacuüm procesomgeving, bekwam het beste coatingproces, kreeg hoogwaardige gecoate producten.
1. Kamergrootte; Ф2700 × H1670 | 8. vloeroppervlak: L6 × w5.5 × H3.5m |
2. Vacuümgraad: ultiem vacuüm: 6 × 10-4 Pa ( 24 uur niet belastbaar zonder verwarming ) | 9. Gewicht: 8000 kg, vloer gewicht > 1000 kg / m2 |
3. Leksnelheid: 4 × 10 -3 Pa × L / S (Heliumlekcontrole) | 10.Temperatuur: bij kamertemperatuur tot 250 ℃ , de temperatuuruniformiteit ± 5% |
4. Werken Vacuüm: 6 × 10 -3 Pa ( automatische proces start-up ) | 11. Stroomvoorziening : driefase , 380 V , 50Hz , 60-100KW |
12. Waterkoeling: kamerstroom > 4000L / H , Pompstroom > 1800L / H , koelcompressor > 1600L / H | |
6. Hoog vacuüm: 6 minuten 8 × 10-3 Pa | 13. Warm Water: Verdampingsbron1800L / H, 35-60 ℃ |
7. Vacuümmeting: volledige procesbewaking en real-time puntverzameling |
l Technische parameters
Bewaking van filmdikte
| 1. PLC geïntegreerde controle 2. Fijne filmdepositie, 0.01nm / s 3. Snelle rijpe overeenkomstige, aaneenschakeling met elektronenkanon |
Flow Control | Controlebereik: 3 ~ 100sccm , 5-500sccm, Nauwkeurige koppeling met ionenbron, synchrone controle, stroomcontrole, Stabiel rendement, stabiele ionenergie is stabiel |
E-beam bron | Type: 10KW, een doorbuiging van 270 °. Rimpel van minder dan 0,5%, precieze vorm en afmeting van de besturingsspot, stabiliteit van de systeembediening en hoge nauwkeurigheid. Type pistool: wolfraamgloeidraad, duurzaam type |
Weerstand verdamping bron | Type: Tungsten boot verdampt door verwarming. Hoeveelheid: Twee sets elektroden, kies voor installatie. Geschikt voor speciale coating-proces, gericht op de functie materialen of metalen materialen om de functie van verdamping te bereiken |
Ionenbron | Type: 4KW Hall ionenbron, grootlicht, breed divergentiehoek, afneembare anode, onderhoud en reiniging is heel eenvoudig |
Controle systeem | PC-interface: 17 inch, 1 set. Aanraakscherm TP: 15 omcjes.1set. Hoofdsysteem: IKS Automatische programmeerbare logische besturing. Automatisch procesbesturingssysteem ontwikkeld door IKS PVD, Het is een intelligent besturingssysteem voor real-time registratie van processen en terugkoppeling van fouten. Perfecte integratie, gehumaniseerd ontwerp en voldoen aan de persoonlijke behoeften , om een veilig en intelligent ontwerp van het besturingssysteem te bieden, Accuraat controle van de werking. |
Veilig ontwerp | Hoofdstroombeveiligingsschakelaar, aardbeveiliging, abnormaal alarm door componenten, systeembediening realtime bewakingsbeveiliging |
l Product superioriteit
Technologische innovatie
1. Redelijke integratie van producten en technologische innovatie resultaten, verbetering van de procesomgeving, om een stabiele werking van het coatingsysteem te bereiken!
2. De innovatie van het productstructuurontwerp is redelijk, stevig, beknopt, is het onderhoud geschikt! (ontwerp van de gebruiker!)
3. Werking en besturingssysteem innovatie-ontwikkeling, eenvoudige bediening, efficiënt en praktisch!
4. Producten en procestechnologie om het deklaagproces van uitstekende kwaliteit te bereiken, efficiency, uniformiteit, uitstekende herhaalbaarheid te verbeteren!
5. Bereik een intelligente besturing van de werking van het coatingsysteem!
6. Veiligheidssysteemoptimalisatie, foutoplossend, gedetailleerd oplossingsoplossing!
7. Hoge efficiency, productie en beheerskostenverlaging!
Technologische functie
1. Productontwerp, door perfecte IKS-technologie en naadloze koppelingsintegratie van productprestaties, om betrouwbaar, stabiel te creëren
Vast, veilig, intelligent coatingsysteem!
2. Vacuümverwerving, opnieuw geoptimaliseerd ontwerp van het vacuümverwervingssysteem, om te voldoen aan de snelle en stabiele vacuümomgeving!
3. Verdampingsbron en ionenbron, redelijke lay-out en de verwerkingstechnologie van uitstekende kwaliteit, opdragen technologie, om het proces te bereiken
Automatische verwerking van het proces, innovatieve structuur van de elektronenstraal en nauwkeurige materiaalafzetting van het snelheidsgarantie, nauwkeuriger en stabieler!
4. Automatisch bedieningscontrolesysteem, de nieuwe ontwikkeling van een nauwkeurig en stabiel systeem! Eenvoudige installatie, eenvoudige bediening!
Gecoat product
Populaire tags: elektronenbundel verdamping coating apparatuur, China, fabrikanten, leveranciers, kopen, aangepast, gemaakt in China
