Interne Stress en meting van het vacuüm PVD-Coating

1. stress introductie

Wanneer het object wordt vervormd als gevolg van externe oorzaak (stress, vochtigheid, etc.), interne krachten interactie tussen delen van het object om te weerstaan aan de gevolgen van deze externe factor, en het object herstellen vanaf de positie na vervorming naar de positie vóór vervorming. De interne werking van de ruimte op een punt in de dwarsdoorsnede heet stress. De normaalspanning staat loodrecht op de dwarsdoorsnede en de schuifspanning is tangens op de doorsnede. Stress zal toenemen als externe krachten verhogen. Er is een limiet aan de groei van stress voor een bepaald materiaal, en boven deze grens, het materiaal zal worden vernietigd.

Voor sommige materialen, stress oplopen tot dit limiet heet de ultieme stress van materialen. De ultieme stress-waarde wordt bepaald door de mechanische test van het materiaal. De gemeten kracht moet worden afgestemd om de limiet, de maximale stress een materiaal staat voor een vooraf bepaalde veiligheid, oftewel de toegestane stress. Als het materiaal is te worden gebruikt veilig, de spanning binnen het moet gebruik lager zijn dan de limiet onderstrepen, anders die het materiaal zal worden beschadigd wanneer deze wordt gebruikt.

Er is een soort stress genaamd interne stress, dat wil zeggen, als er geen externe kracht, de interne stress in het object de interne stress. En interne stress in PVD coating. De schade van interne stress is erg groot, zodat de grootte en de mate van interne stress moeten goed worden beheerst in productie. Het belangrijkste gebruik van PVD coating is als een slijtvaste beschermlaag, waarvoor een bepaalde dikte en levensduur, maar de interne stress in de coating beperkt de dikte van de coating.  De elastische energie van het volume geproduceerd door de interne stress overschrijdt de fractuur energie per oppervlakte-eenheid, zal de coating af vallen, dus de dikte van de gedeponeerde coating beperkt is. In het algemeen, de interne stress, elasticiteitsmodulus en hardheid van de coating zijn evenredig met elkaar. Dus, tijdens het productieproces, de stress van de coating, met name de interne stress, moet worden gecontroleerd door fysieke vapor deposition proces. Na coating, moet de interne stress van de coating worden gedetecteerd, zodat ze binnen het acceptabele bereik wordt geaccepteerd.

2. de testmethode van stress

(1) X-ray en elektron diffractie

Wanneer de coating in stress staat, het lattice zal verstoren, en de constante rooster zal worden gewijzigd. Daarom is de verandering van de lijndikte van de diffractie van de rooster-constante kan worden gemeten door de diffractie van röntgenstralen en elektron. De stress van de coating kan worden berekend op basis van een bepaalde formule.

(2) de analyse van de vervorming specimen

Één uiteinde van een zeer dunne rechthoekig glas stuk is vast in de Vacuuemcel van de coating-apparatuur, en vervolgens bekleed op een oppervlak van het blad. De coating stress veroorzaakt vervorming van het vrije uiteinde van het blad, en het blad wordt gemeten met een telelens Microscoop te meten. De mate van verschuiving op het vrije uiteinde wordt dan berekend op basis van de mechanische formule van het materiaal.

(3) de optische interferometrie

Met behulp van optische interferometrie voor het meten van de coating stress interferentie marge gevormd tussen de standaard plaat en niet-gecoate substraat in de interferometer, en vervolgens op de drager vervagen als gevolg van de coating stress effect, substraat oppervlakte vervorming, gecoat dan het meten van de interferentie marge gevormd tussen de standaard plaat en gecoate substraat in de interferometer, op basis van de interferentie marge wijzigingen, de stress van de coating te berekenen met behulp van de formules van materiële mechanica.

Voor meer dan een decennium,IKSgespecialiseerd in alle soorten vacuüm coating toepassingsapparatuur productie, gewijd aan het onderzoek en de ontwikkeling en de productie van vacuüm coating machine, met de nieuwste technologie voortdurend producten voldoen aan de behoeften van de markt van vacuüm coating apparatuur , klanten te voorzien van aangepaste technologieoplossingen en apparatuur