Het aandrijfsysteem en koelsysteem van PVD-coatingapparatuur
Mar 31, 2018| Aandrijfsysteem
Het aandrijfsysteem zorgt ervoor dat het substraat van het substraat in de inrichting stroomt voor sputterdepositie, om uit het apparaat te komen na voltooiing van de verwerking. Het aandrijfsysteem bestaat uit een aandrijfmotor, een scrollwiel, een frequentieomvormer, enzovoort. De redenen voor het toevoegen van het aandrijfsysteem zijn:
(1) Zorg ervoor dat de uniforme diktebekledingen wijd verspreid zijn.
(2) Eenvoudig te realiseren geautomatiseerde verzending.
Koelsysteem
Het koelsysteem bestaat hoofdzakelijk uit de moleculaire pomp met gericht circulerend water, de kamer, de pompgroep en de circulatiewater van de aandrijfmotor. De belangrijkste functie is om de vacuümkamer, pomp, aandrijving, voeding, etc. te koelen. De vereisten voor koelwater zijn:
(1) Temperatuur: 17 ~ 22 ° C;
(2) Druk: 2 ~ 3e0.05Pa;
(3) De magnetische deeltjes moeten uit het water worden verwijderd en het water moet worden verzacht, pH = 6 ~ 8.